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標(biāo)簽 > 光刻機(jī)
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光刻機(jī)(Mask Aligner) 又名:掩模對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī),曝光系統(tǒng),光刻系統(tǒng)等。
2020-10-16 標(biāo)簽:光刻機(jī) 31.4萬 1
國產(chǎn)光刻機(jī)達(dá)到幾納米_中國光刻機(jī)的發(fā)展史
從2009年開始算起,中國研究團(tuán)隊(duì)一路攻堅(jiān)克難,國產(chǎn)首套90納米高端光刻機(jī)已于近期第一次成功曝光。2022年左右有望完成驗(yàn)收。這意味著,中國半導(dǎo)體材料和...
2018-04-10 標(biāo)簽:光刻機(jī) 24.5萬 0
一文看懂a(chǎn)sml光刻機(jī)工作原理及基本構(gòu)造
在半導(dǎo)體芯片制造設(shè)備中,投資最大、也是最為關(guān)鍵的是光刻機(jī),光刻機(jī)同時(shí)也是精度與難度最高、技術(shù)最為密集、進(jìn)步最快的一種系統(tǒng)性工程設(shè)備。光學(xué)光刻技術(shù)與其它光...
光刻是半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)流程中最復(fù)雜、最關(guān)鍵的工藝步驟,耗時(shí)長、成本高。半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)的難點(diǎn)和關(guān)鍵點(diǎn)在于將電路圖從掩模上轉(zhuǎn)移至硅片上,這一過程通過光刻來實(shí)現(xiàn)...
2018-04-08 標(biāo)簽:半導(dǎo)體器件光刻機(jī)半導(dǎo)體芯片 16.7萬 0
光刻是集成電路最重要的加工工藝,他的作用,如同金工車間中車床的作用。光刻是制造芯片的最關(guān)鍵技術(shù),在整個(gè)芯片制造工藝中,幾乎每個(gè)工藝的實(shí)施,都離不開光刻的技術(shù)。
本文以光刻機(jī)為中心,主要介紹了光刻機(jī)的分類、光刻機(jī)的結(jié)構(gòu)組成、光刻機(jī)的性能指標(biāo)、光刻機(jī)的工藝流程及工作原理。
2017-12-19 標(biāo)簽:光刻機(jī) 16.4萬 0
光刻機(jī)(Mask Aligner) 又名:掩模對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī),曝光系統(tǒng),光刻系統(tǒng)等。一般的光刻工藝要經(jīng)歷硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對(duì)準(zhǔn)曝光、...
2018-04-10 標(biāo)簽:光刻機(jī) 13.3萬 0
一塊晶圓經(jīng)過數(shù)個(gè)月的加工,在指甲蓋大小的空間中集成了數(shù)公里長的導(dǎo)線和數(shù)以億計(jì)的晶體管器件,經(jīng)過測(cè)試,品質(zhì)合格的晶片會(huì)被切割下來,剩下的部分會(huì)報(bào)廢掉。千挑...
asml光刻機(jī)股東是誰_asml光刻機(jī)股東介紹
本文首先介紹了asml公司,其次介紹了關(guān)于asml公司的股東以及各個(gè)股東的簡介,最后帶領(lǐng)大家了解一下荷蘭光刻機(jī)為什么受到青睞的厲害之處。
看一看,數(shù)一數(shù),制造一枚合格的芯片都需要哪些設(shè)備?
反應(yīng)離子刻蝕技術(shù)是一種各向異性很強(qiáng)、選擇性高的干法腐蝕技術(shù)。它是在真空系統(tǒng)中利用分子氣體等離子來進(jìn)行刻蝕的,利用了離子誘導(dǎo)化學(xué)反應(yīng)來實(shí)現(xiàn)各向異性刻蝕,即...
光刻機(jī)價(jià)格多少_還有比光刻機(jī)更貴的設(shè)備嗎
光刻機(jī)是芯片制造中光刻環(huán)節(jié)的核心設(shè)備, 技術(shù)含量、價(jià)值含量極高。 光刻機(jī)涉及系統(tǒng)集成、精密光學(xué)、精密運(yùn)動(dòng)、精密物料傳輸、高精度微環(huán)境控制等多項(xiàng)先進(jìn)技術(shù),...
2018-04-10 標(biāo)簽:光刻機(jī) 3.7萬 0
微電子制造過程中的圖形轉(zhuǎn)移母版掩膜版(Photomask)又稱光罩、光掩膜、光刻掩膜版等,是微電子制造過程中的圖形轉(zhuǎn)移工具或母版,是圖形設(shè)計(jì)和工藝技術(shù)等...
光刻是集成電路最重要的加工工藝,他的作用,如同金工車間中車床的作用。在整個(gè)芯片制造工藝中,幾乎每個(gè)工藝的實(shí)施,都離不開光刻的技術(shù)。光刻也是制造芯片的最關(guān)...
據(jù)cnBeta、環(huán)球網(wǎng)、快科技等多家媒體證實(shí),近日長江存儲(chǔ)從荷蘭阿斯麥(ASML)公司訂購的一臺(tái)光刻機(jī)已抵達(dá)武漢。這臺(tái)光刻機(jī)價(jià)值高達(dá)7200萬美元,約合...
2018-11-22 標(biāo)簽:光刻機(jī) 2.1萬 0
光刻機(jī)的難度在于要滿足復(fù)雜的制程需求、高精度的要求以及大規(guī)模生產(chǎn)的挑戰(zhàn)。為了應(yīng)對(duì)這些挑戰(zhàn),光刻機(jī)制造商需要投入大量的研發(fā)資源和技術(shù)創(chuàng)新,不斷提升設(shè)備性能...
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