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標簽 > 光刻機
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芯片產(chǎn)業(yè)中的光刻機是怎么雕刻出遠遠小于自己波長的線寬的?
具體地說是利用某種Copolymer,比如PMMA-PS,在滿足一定分子比和物理條件的形況下,PMMA跑到一邊,PS跑到另一邊,形成很有序的交錯結(jié)構(gòu),再...
節(jié)點的尺寸數(shù)值基本上和晶體管的長寬成正比關(guān)系,每一個節(jié)點基本上是前一個節(jié)點的0.7倍。這樣以來,由于0.7X0.7=0.49,所以每一代工藝節(jié)點上晶體管...
光刻機的制造是一項復(fù)雜而精密的工藝,需要高度專業(yè)化的技術(shù)和設(shè)備。它涉及到許多關(guān)鍵的工藝步驟和組件,如光學(xué)系統(tǒng)、曝光光源、掩模制作等。
2023-07-04 標簽:集成電路光學(xué)系統(tǒng)光刻機 1.4萬 0
提高光刻機性能的關(guān)鍵技術(shù)及光刻機的發(fā)展情況
作為光刻工藝中最重要設(shè)備之一,光刻機一次次革命性的突破,使大模集成電路制造技術(shù)飛速向前發(fā)展。了解提高光刻機性能的關(guān)鍵技術(shù)以及了解下一代光刻技術(shù)的發(fā)展情況...
2020-08-28 標簽:光刻機 1.3萬 1
DUV是深紫外線(Deep Ultraviolet Lithography),EUV是極深紫外線(Extreme Ultraviolet Lithogr...
套刻誤差的含義、產(chǎn)生原因以及和對準誤差的區(qū)別
光刻機的工作過程是這樣的:逐一曝光完硅片上所有的場(field),亦即分步,然后更換硅片,直至曝光完所有的硅片;當對硅片進行工藝處理結(jié)束后,更換掩模,接...
EDA技術(shù)的核心是將電子設(shè)計自動化,實現(xiàn)快速、準確、方便的電路設(shè)計和仿真,以提高電路設(shè)計的效率和可靠性。通過提高EDA技術(shù)的運用水平,可以縮短電路設(shè)計周...
2023-04-19 標簽:eda光刻機電子設(shè)計自動化 1.2萬 0
光刻工藝的8個基本步驟 光刻機結(jié)構(gòu)及工作原理
摩爾定律 Intel創(chuàng)始人之一摩爾1964年提出,大約每隔12個月: 1)。芯片能力增加一倍、芯片價格降低- -倍; 2)。廣大用戶的福音、行業(yè)人...
刻蝕機的刻蝕過程和傳統(tǒng)的雕刻類似,先用光刻技術(shù)將圖形形狀和尺寸制成掩膜,再將掩膜與待加工物料模組裝好,將樣品置于刻蝕室內(nèi),通過化學(xué)腐蝕或物理磨蝕等方式將...
眾所周知,半導(dǎo)體作為最重要的產(chǎn)業(yè)之一,每年為全球貢獻近五千億美金的產(chǎn)值,可以毫不夸張的說,半導(dǎo)體技術(shù)無處不在。
ASML光刻機的工作原理及關(guān)鍵技術(shù)解析
光刻機(Mask Aligner) 又名:掩模對準曝光機,曝光系統(tǒng),光刻系統(tǒng)等,是制造芯片的核心裝備。它采用類似照片沖印的技術(shù),把掩膜版上的精細圖形通過...
關(guān)于半導(dǎo)體制程/工藝/生產(chǎn)的性能分析和介紹
說完了 FinFET,我們還有最后一個后綴,就是昨天報道中的 LPP、LPE 了,其實這些指的都是同一代工藝中的不同種類,比如 LPE(Low Powe...
從光刻機出來后還要經(jīng)歷曝光后的烘焙,簡稱后烘。這一步的目的是通過加熱讓光刻膠中的光化學(xué)反應(yīng)充分完成,可以彌補曝光強度不足的問題。
超級全面!一文看懂***:MEMS傳感器及芯片制造的最核心設(shè)備
文章大綱 光刻是芯片制造最核心環(huán)節(jié),大陸自給率亟待提升 ·光刻機是芯片制造的核心設(shè)備,市場規(guī)模全球第二 ·一超兩強壟斷市場,大陸卡脖子現(xiàn)象凸顯 光刻機:...
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