白光干涉對于環(huán)境防振要求高的原因，主要可以從其測量原理和應用需求兩個方面來解釋。

一、測量原理

白光干涉儀是利用干涉原理測量光程之差從而測定有關(guān)物理量的光學儀器。光源發(fā)出的光經(jīng)過擴束準直后經(jīng)分光棱鏡分成兩束，一束光經(jīng)被測表面反射回來，另一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉。兩束相干光間光程差的任何變化都會靈敏地導致干涉條紋的移動，而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何路程或介質(zhì)折射率的變化引起的。因此，任何微小的振動都可能引起光程差的變化，從而導致干涉條紋的移動，進而影響測量結(jié)果的準確性。

二、應用需求

白光干涉儀通常用于高精度測量，如半導體制造、光學加工、汽車零部件制造等領域。在這些領域中，對測量結(jié)果的準確性要求極高，任何微小的誤差都可能對產(chǎn)品質(zhì)量和性能產(chǎn)生重大影響。因此，為了確保測量結(jié)果的準確性，必須盡可能減少環(huán)境振動對測量過程的干擾。

綜上所述，白光干涉對于環(huán)境防振要求高，主要是因為其測量原理敏感于光程差的變化，而環(huán)境振動會干擾光程差的穩(wěn)定性，從而影響測量結(jié)果的準確性。同時，高精度測量的應用需求也要求盡可能減少環(huán)境振動對測量過程的干擾。因此，在使用白光干涉儀進行測量時，需要采取一系列措施來減少環(huán)境振動的影響，如將儀器放置在穩(wěn)定的平臺上、使用減震裝置等。

TopMap Micro View白光干涉3D輪廓儀

一款可以“實時”動態(tài)/靜態(tài) 微納級3D輪廓測量的白光干涉儀

1)一改傳統(tǒng)白光干涉操作復雜的問題，實現(xiàn)一鍵智能聚焦掃描，亞納米精度下實現(xiàn)卓越的重復性表現(xiàn)。

2)系統(tǒng)集成CST連續(xù)掃描技術(shù)，Z向測量范圍高達100mm，不受物鏡放大倍率的影響的高精度垂直分辨率，為復雜形貌測量提供全面解決方案。

3）可搭載多普勒激光測振系統(tǒng)，實現(xiàn)實現(xiàn)“動態(tài)”3D輪廓測量。

實際案例

1，優(yōu)于1nm分辨率，輕松測量硅片表面粗糙度測量，Ra=0.7nm

2，毫米級視野，實現(xiàn)5nm-有機油膜厚度掃描

3，卓越的“高深寬比”測量能力，實現(xiàn)光刻圖形凹槽深度和開口寬度測量。