為了測量超光滑的表面及中等粗糙表面的表面高度,通過干涉技術(shù),可在任何放大倍率下實現(xiàn)相同的系統(tǒng)噪聲,它可實現(xiàn)優(yōu)于 0.01 nm 的系統(tǒng)噪聲。
干涉工作原理
干涉技術(shù)的工作原理是:將光分成光學傳播路徑不同的兩個光束,然后再合并,從而產(chǎn)生干涉。干涉物鏡允許顯微鏡作為干涉儀而工作;焦點對準后,可在樣本上觀察到條紋。
CSI (白光干涉)使用白光掃描光滑到中等粗糙表面的表面高度,任何放大倍率下均達到 1 nm 的高度分辨率。
采用干涉法,3D 測量能以高精度進行。可沿 Z 軸掃描,在整個樣本上獲得條紋,用獲取的不同像素的高度重新構(gòu)建 3D 圖像。
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審核編輯 黃宇
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