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中圖儀器

深圳市中圖儀器股份有限公司是一家高新技術(shù)企業(yè),致力于全尺寸鏈精密測量儀器及設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。

可獲得潛在客戶線索數(shù)量120+立即解鎖

国产半导体合作伙伴

3k 內(nèi)容數(shù) 99w+ 瀏覽量 65 粉絲

簡單易操作超高分辨率掃描電鏡

型號: CEM3000系列
品牌: 中圖儀器(中圖儀器)

--- 產(chǎn)品參數(shù) ---

  • 注釋 如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。

--- 產(chǎn)品詳情 ---

中圖儀器CEM3000簡單易操作超高分辨率掃描電鏡高易用性快速成像、一鍵成片,無需過多人工調(diào)節(jié)。超高分辨率優(yōu)于4nm(SE),優(yōu)于8nm(BSE)@20kV,超大景深毫米級別景深,具有高空間分辨率。

簡單易操作超高分辨率掃描電鏡

CEM3000簡單易操作超高分辨率掃描電鏡用于對樣品進行微觀尺度形貌觀測和分析。外型緊湊,空間適用性強,整機采用大量的抗干擾設(shè)計,避免使用環(huán)境造成的影響,拓寬了應(yīng)用范圍。同時,該系列臺式電鏡具有非常豐富的自動調(diào)節(jié)功能,能夠?qū)Σ煌愋偷臉悠愤M行觀測,具有高空間分辨率。

 

產(chǎn)品功能

1.高分辨率,滿足用戶觀測需求;

2.快速抽放氣,縮短等待時間;

3.高易用性

可快速成像,一鍵成片;

4.多種成像參數(shù)

滿足專業(yè)用戶的調(diào)節(jié)需求;

5.高抗振防磁性能

強抗干擾能力;

6.可選配低真空模式,保證用戶能夠根據(jù)需要設(shè)定電鏡樣品倉內(nèi)真空度,進而對不同類型的樣品進行觀測。

7.大樣品倉

SEM3000A在保證較小外形尺寸同時,具有比肩立式電鏡的大倉室,從而容納更大尺寸樣品;

8.多探測器

可實現(xiàn)四分窗同時掃描成像。

 

性能特色

1、緊湊外型

該系列臺式掃描電鏡整機經(jīng)過深入優(yōu)化,在結(jié)構(gòu)方面達到了優(yōu)尺寸利用率,確保其出色的性能不再受環(huán)境尺寸的制約,無論是日常的工作桌面、還是狹小空間,CEM3000系列臺式掃描電鏡總能陪伴用戶出現(xiàn)在有需要的地方。

2、自動調(diào)節(jié)

用戶可借助自動調(diào)節(jié)功能,無需過多人工調(diào)節(jié),便可一鍵得到理想的拍攝圖片。

3、高分辨率

CEM3000系列電鏡具有出色的電子光學(xué)系統(tǒng),優(yōu)于4nm的空間分辨率,保證了高放大倍數(shù)下的清晰成像,能夠滿足納米尺度的形貌觀測需求。

4、高抗振防磁性能

該系列臺式電鏡采用特殊設(shè)計的隔振措施,能夠減小環(huán)境中振動對電鏡的干擾,并且全系列電鏡具有強抗電磁干擾性能,消除場地因素對電鏡的影響。

其中CEM3000B更是采用本公司設(shè)計的高性能復(fù)合抗振系統(tǒng)來消除外界振動對電鏡的影響,即使是在高放大倍數(shù)下成像,用戶也不用擔(dān)心環(huán)境振動對電鏡產(chǎn)生的干擾。

5、選配低真空系統(tǒng)

根據(jù)用戶需求,可選配低真空系統(tǒng)。該系統(tǒng)讓用戶可以任意設(shè)定電鏡工作時的倉內(nèi)真空度(倉內(nèi)真空度低可達100Pa),以滿足不同類型樣品的觀測需求。

6、操縱手柄

操作手柄上集成了多個方向位移控制,自動調(diào)整及自動對焦、自動消像散等功能,可快速完成觀測位置調(diào)整及自動成像。

7、豐富的定制功能

根據(jù)特定行業(yè)的需求,定制了自動化的顆粒度統(tǒng)計、孔隙率測量等選配功能。

可根據(jù)用戶需求提供全自動軟件定制服務(wù)。

8、高精度樣品臺

該系列臺式電鏡采用全新設(shè)計的樣品臺,各自動軸均保證了動作精度和高重復(fù)性。

9、高襯度成像系統(tǒng)

采集系統(tǒng)具有高信噪比,使用戶在快速掃描時也能獲取到充足的信號。即使針對微弱信號,CEM3000系列臺式電鏡搭載的處理算法亦可將信號從背底中進行高效剝離,確保成像質(zhì)量。

 

應(yīng)用領(lǐng)域

CEM3000簡單易操作超高分辨率掃描電鏡外型緊湊,空間適用性強,整機采用大量的抗干擾設(shè)計,避免使用環(huán)境造成的影響,拓寬了應(yīng)用范圍。同時,該系列臺式電鏡具有非常豐富的自動調(diào)節(jié)功能,能夠?qū)Σ煌愋偷臉悠愤M行觀測,具有高空間分辨率。

用戶可在CEM3000掃描電鏡上搭配不同的探頭,同時接收多種信號,對樣品進行分析。

簡單易操作超高分辨率掃描電鏡

 

機型選擇

CEM3000A(大樣品倉型):70mm×70mm樣品倉,兼容大尺寸或多樣品批量分析。

CEM3000B(抗振型):專為振動環(huán)境設(shè)計,抽氣更快(低真空僅40秒),成像更穩(wěn)定。

簡單易操作超高分辨率掃描電鏡

 

部分技術(shù)指標(biāo)

型號

CEM3000A(大樣品倉型)

電子槍

燈絲

鎢燈絲

分辨率

優(yōu)于4nm(SE),優(yōu)于8nm(BSE)  @20kV

加速電壓

1 ~ 20kV

放大倍數(shù)

電子圖:40 ~ 200,000×(可選配大圖拼接)

探測器

二次電子

標(biāo)配

背散射電子

標(biāo)配(四象限高分辨探頭)

能譜儀

選配

自動化軟件

標(biāo)配:自動合軸、自動聚焦、自動消像散、一鍵圖像增強

選配:顆粒度統(tǒng)計、孔隙率測量、纖維測量、三維粗糙度重建

真空系統(tǒng)

真空度

高真空:優(yōu)于9×10-3Pa

低真空:5 ~ 100 Pa(選配)

抽真空時間

低真空模式 < 1.5min

高真空模式 < 3min

樣品臺

自動軸

X,Y,T

手動軸

R,Z

行程范圍

X: 50mm

Y: 50mm

R: 0°~360°(手動旋轉(zhuǎn)、電子束旋轉(zhuǎn))

T: -22.5°~ +22.5°

Z: 45mm

 

最大樣品尺寸

70mm×70mm(水平)

45mm(高度)

倉內(nèi)相機

導(dǎo)航相機

標(biāo)配高分辨彩色相機

側(cè)視相機

標(biāo)配高分辨紅外相機

操作系統(tǒng)

圖片尺寸

Windows10 (64bit)

640×480

1280×960

2560×1920

5120×3840

10240×7680

懇請注意:因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。

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