CEM3000系列中圖儀器高分辨率掃描電鏡操作系統簡便，使用過程簡單快捷。樣品一鍵裝入，自動導航和一鍵出圖能力（自動聚焦+自動消像散+自動亮度對比度）幫助用戶在短短幾十秒內就可獲取高清圖像，大大提升了使用效率。
CEM3000系列中圖儀器高分辨率掃描電鏡在工業領域展現出廣泛的應用價值，標配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭、并可選配能譜儀、低真空系統，能滿足用戶對多類型樣品的觀測需求，實現微觀的形貌和元素分析等。
性能特色
1.高易用性快速成像、一鍵成片，無需過多人工調節。
2.超高分辨率優于4nm(SE)，優于8nm(BSE)@20kV。
3.超大景深毫米級別景深，具有高空間分辨率。
4.多探測器可實現四分窗同時掃描成像。
5.抗振性能優異。
產品功能
1）CEM3000掃描電鏡SEM品牌緊湊的外型，能夠不受場地尺寸制約，真正做到了空間適用性，用戶甚至可以將其就近擺放在自己的桌面上。同時CEM3000也能根據用戶需求，輕松移機，一臺機器多處開花；
2）高分辨率，能夠對微尺寸特征進行觀測分析，滿足用戶的觀測需求；
3）快速抽放氣，憑借真空系統設計，該系列臺式電鏡縮短了用戶抽放氣的等待時間；
4）高易用性，能夠快速成像、一鍵出片，用戶使用自動調節功能，無需過多人工操作，就可得到高質量拍攝圖片；
5）大樣品倉，CEM3000A在保證較小外型尺寸同時，具有比肩立式電鏡的大倉室，從而容納更大尺寸樣品；
6）高抗振防磁性能，全系列電鏡均具有優秀的抗干擾能力，特別是CEM3000B使用本公司技術，基于復合抗振手段，將掃描電鏡抗振性能提升到了新的高度；
7）可選配低真空模式，保證用戶能夠根據需要設定電鏡樣品倉內真空度，進而對不同類型的樣品進行觀測；
8）能夠提供多種成像參數供用戶選擇，滿足專業用戶的調節需求；
9）搭配有多種探頭，能夠對樣品進行多種手段的分析。
機型選擇
CEM3000A（大樣品倉型）：70mm×70mm樣品倉，兼容大尺寸或多樣品批量分析。
CEM3000B（抗振型）：專為振動環境設計，抽氣更快（低真空僅40秒），成像更穩定。
應用領域
CEM3000系列中圖儀器高分辨率掃描電鏡外型緊湊，空間適用性強，整機采用大量的抗干擾設計，避免使用環境造成的影響，拓寬了應用范圍。同時，該系列臺式電鏡具有非常豐富的自動調節功能，能夠對不同類型的樣品進行觀測，具有高空間分辨率。
用戶可在CEM3000掃描電鏡上搭配不同的探頭，同時接收多種信號，對樣品進行分析。
部分技術指標
型號 | CEM3000A（大樣品倉型） | |
電子槍 | 燈絲 | 鎢燈絲 |
分辨率 | 優于4nm(SE)，優于8nm(BSE) @20kV | |
加速電壓 | 1 ~ 20kV | |
放大倍數 | 電子圖：40 ~ 200,000×（可選配大圖拼接） | |
探測器 | 二次電子 | 標配 |
背散射電子 | 標配（四象限高分辨探頭） | |
能譜儀 | 選配 | |
自動化軟件 | 標配：自動合軸、自動聚焦、自動消像散、一鍵圖像增強 | |
選配：顆粒度統計、孔隙率測量、纖維測量、三維粗糙度重建 | ||
真空系統 | 真空度 | 高真空：優于9×10-3Pa 低真空：5 ~ 100 Pa（選配） |
抽真空時間 | 低真空模式 < 1.5min 高真空模式 < 3min | |
樣品臺 | 自動軸 | X，Y，T |
手動軸 | R，Z | |
行程范圍 | X: 50mm | |
Y: 50mm | ||
R: 0°~360°（手動旋轉、電子束旋轉） | ||
T: -22.5°~ +22.5° | ||
Z: 45mm | ||
最大樣品尺寸 | 70mm×70mm（水平） 45mm（高度） | |
倉內相機 | 導航相機 | 標配高分辨彩色相機 |
側視相機 | 標配高分辨紅外相機 | |
操作系統 圖片尺寸 | Windows10 (64bit) | |
640×480 | ||
1280×960 | ||
2560×1920 | ||
5120×3840 | ||
10240×7680 | ||
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