掃描電鏡的日常維護(hù)對(duì)于保證儀器的性能和使用壽命至關(guān)重要，以下是一些日常維護(hù)的注意事項(xiàng)：

1、電子光學(xué)系統(tǒng)維護(hù)

-電子槍維護(hù)：電子槍是產(chǎn)生電子束的部件，其燈絲會(huì)隨著使用逐漸損耗。應(yīng)定期檢查燈絲的狀態(tài)，當(dāng)燈絲發(fā)射電流不穩(wěn)定或明顯變?nèi)鯐r(shí)，需及時(shí)更換燈絲。更換燈絲時(shí)要注意操作規(guī)范，避免引入雜質(zhì)或損壞燈絲。同時(shí)，保持電子槍區(qū)域的清潔，防止灰塵等污染物進(jìn)入影響電子發(fā)射。

-電磁透鏡維護(hù)：電磁透鏡用于聚焦電子束，要定期檢查其電流穩(wěn)定性和磁場(chǎng)強(qiáng)度。確保透鏡的電源穩(wěn)定，避免電壓波動(dòng)對(duì)透鏡性能產(chǎn)生影響。此外，防止外部磁場(chǎng)干擾電磁透鏡的正常工作，不要在電鏡附近放置強(qiáng)磁性物質(zhì)。

2、真空系統(tǒng)維護(hù)

-真空泵維護(hù)：真空泵是維持電鏡真空環(huán)境的關(guān)鍵設(shè)備。定期檢查真空泵的油位和油質(zhì)，油位過(guò)低時(shí)要及時(shí)補(bǔ)充真空泵油，油質(zhì)變差則需更換新油，以保證真空泵的抽氣效率。同時(shí)，按照真空泵的使用說(shuō)明書(shū)，定期對(duì)真空泵進(jìn)行保養(yǎng)和維護(hù)，如清潔泵腔、更換密封件等。

-真空管道和閥門(mén)維護(hù)：檢查真空管道是否有漏氣現(xiàn)象，可使用氦質(zhì)譜檢漏儀等設(shè)備進(jìn)行檢測(cè)。如發(fā)現(xiàn)漏氣，要及時(shí)找出漏點(diǎn)并進(jìn)行修復(fù)。對(duì)于真空閥門(mén)，要定期檢查其密封性和動(dòng)作靈活性，確保閥門(mén)能夠正常開(kāi)啟和關(guān)閉，防止因閥門(mén)故障導(dǎo)致真空度下降。

3、探測(cè)器維護(hù)

-二次電子探測(cè)器維護(hù)：二次電子探測(cè)器是最常用的探測(cè)器之一，要保持其表面清潔，避免灰塵和樣品碎屑附著。定期檢查探測(cè)器的高壓電源和信號(hào)傳輸線(xiàn)路，確保其正常工作。如果探測(cè)器的靈敏度下降，可能是探測(cè)器表面污染或電子倍增管老化所致，需要進(jìn)行清潔或更換電子倍增管。

-背散射電子探測(cè)器維護(hù)：背散射電子探測(cè)器的維護(hù)與二次電子探測(cè)器類(lèi)似，要注意保持其清潔和正常的工作狀態(tài)。同時(shí)，根據(jù)實(shí)際使用情況，定期對(duì)探測(cè)器的參數(shù)進(jìn)行校準(zhǔn)，以保證背散射電子圖像的質(zhì)量和準(zhǔn)確性。

4、樣品室維護(hù)

-清潔樣品室：每次觀察完樣品后，應(yīng)及時(shí)清理樣品室，去除樣品殘?jiān)⒒覊m和其他污染物。可以使用干凈的紗布或?qū)Ｓ玫那鍧嵐ぞ哌M(jìn)行擦拭，但要注意避免刮傷樣品室的內(nèi)壁和部件。對(duì)于頑固污漬，可使用適當(dāng)?shù)挠袡C(jī)溶劑進(jìn)行擦拭，但要確保有機(jī)溶劑揮發(fā)干凈后再關(guān)閉樣品室。

-檢查樣品臺(tái)：檢查樣品臺(tái)的移動(dòng)和旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)是否靈活，如有卡頓或不順暢的情況，要及時(shí)進(jìn)行潤(rùn)滑和維修。同時(shí)，檢查樣品臺(tái)的平整度和穩(wěn)定性，確保樣品在觀察過(guò)程中不會(huì)發(fā)生晃動(dòng)或位移，影響成像質(zhì)量。

此外，還需定期對(duì)掃描電鏡的軟件和硬件進(jìn)行更新和校準(zhǔn)，以保證儀器的性能和功能始終處于最佳狀態(tài)。同時(shí)，建立詳細(xì)的維護(hù)記錄檔案，記錄每次維護(hù)的時(shí)間、內(nèi)容、更換的部件等信息，以便于對(duì)儀器的維護(hù)情況進(jìn)行跟蹤和管理。