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Tegal出售納米沉積技術專利

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薄膜沉積是指在基底上沉積特定材料形成薄膜,使之具有光學、電學等方面的特殊性能。
2023-07-13 09:10:487763

泛林集團推出全球首個晶圓邊緣沉積解決方案以提高芯片良率

關鍵尺寸的不斷縮小,其制造變得越來越復雜,在硅晶圓上構建納米級器件需要數百個工藝步驟。僅需一個工藝步驟,Coronus DX 可在晶圓邊緣的兩側沉積一層專有的保護膜,有助于防止在先進半導體制造過程中
2023-07-05 00:39:29422

研究中心研發(fā)出一種孔徑小于10納米的固態(tài)納米孔制備新技術

近日,中國科學院近代物理研究所材料研究中心與俄羅斯杜布納聯(lián)合核子研究所合作,研發(fā)出一種孔徑小于10納米的固態(tài)納米孔制備新技術。相關研究成果發(fā)表在《納米快報》(Nano Letters
2023-07-04 11:10:56364

一種孔徑小于10納米的固態(tài)納米孔制備新技術

高質量固態(tài)納米孔的制備是DNA測序、納流器件以及納濾膜等應用的關鍵技術。當前,在無機薄膜材料中制備固態(tài)納米孔的主流方法是聚焦離子/電子束刻蝕。
2023-07-04 11:08:08137

詳解半導體前端工藝之沉積工藝

和在刻蝕工藝中一樣,半導體制造商在沉積過程中也會通過控制溫度、壓力等不同條件來把控膜層沉積的質量。例如,降低壓強,沉積速率就會放慢,但可以提高垂直方向的沉積質量。因為,壓強低表明設備內反應氣體粒子
2023-07-02 11:36:401211

半導體前端工藝:沉積——“更小、更多”,微細化的關鍵(上)

在半導體制程中,移除殘余材料的“減法工藝”不止“刻蝕”一種,引入其他材料的“加法工藝”也非“沉積”一種。比如,光刻工藝中的光刻膠涂敷,其實也是在基底上形成各種薄膜;又如氧化工藝中晶圓(硅)氧化,也需要在基底表面添加各種新材料。那為什么唯獨要強調“沉積”工藝呢?
2023-06-29 16:58:37404

半導體前端工藝之沉積工藝

在前幾篇文章(點擊查看),我們一直在借用餅干烘焙過程來形象地說明半導體制程 。在上一篇我們說到,為制作巧克力夾心,需通過“刻蝕工藝”挖出餅干的中間部分,然后倒入巧克力糖漿,再蓋上一層餅干層?!暗谷肭煽肆μ菨{”和“蓋上餅干層”的過程在半導體制程中就相當于“沉積工藝”。
2023-06-29 16:56:17830

泛林集團推出全球首個晶圓邊緣沉積解決方案以提高芯片良率

越來越復雜,在硅晶圓上構建納米級器件需要數百個工藝步驟。僅需一個工藝步驟,Coronus DX可在晶圓邊緣的兩側沉積一層專有的保護膜,有助于防止在先進半導體制造過程中經常發(fā)生的缺陷和損壞。這一強大的保護
2023-06-29 10:08:27650

韞茂科技獲數億元融資,加快薄膜沉積設備量產

韞茂科技成立于2018年,致力于成為平臺形態(tài)的納米級薄膜沉積設備制造企業(yè)。目前擁有ald原子層沉積系統(tǒng)、pvd物理氣體沉積系統(tǒng)、cvd化學氣體沉積系統(tǒng)、uhv超高真空涂層設備等12種產品。
2023-06-28 10:41:03540

微導納米簽3.86億大單 向億晶光電銷售TOPCon電池設備

原子層沉積技術的領軍企業(yè)微導納米的愿景是成為世界級的微納技術解決方案裝備制造商;正在一步一步堅定邁進。 江蘇微導納米科技股份有限公司(簡稱“微導納米”,股票代碼688147.SH)成立于2015年12月,是一家面向全球的半導體、泛半導體高端微納裝備制造商。公司形成了
2023-06-21 17:23:03924

Atonarp 質譜分析儀應用于沉積和刻蝕 3D NAND 存儲器

3D NAND 工藝通過堆疊存儲單元, 提供更高的比特密度, 上海伯東日本 Atonarp Aston? 質譜分析儀適用于先進半導體工藝(如沉積和蝕刻)所需的定量氣體分析. 沉積應用中: 實時過程
2023-06-21 10:09:13197

Aston? 過程質譜提高 low-k 電介質沉積的吞吐量

沉積晶圓通量是晶圓廠 FAB 效率的關鍵指標之一, 也是晶圓廠 FAB 不斷改進以降低每次移動成本和減少資本支出的關鍵指標. 上海伯東日本 Atonarp Aston? 質譜儀提供腔室清潔終點
2023-06-21 10:03:30236

eLEAP技術的原理是什么?為什么看重eLEAP技術?

eLEAP顯示技術是JDI開發(fā)出的世界上第一個使用無掩模沉積和光刻技術準備大規(guī)模生產的OLED技術
2023-06-18 10:03:115266

請問一下8寸 原子層沉積設備ALD,單晶片。國內設備大約在什么價位?。?/a>

原子層ALD沉積介紹

原子層沉積(Atomic layer deposition,ALD)是一種可以沉積單分子層薄膜的特殊的化學氣相沉積技術
2023-06-15 16:19:212037

與傳統(tǒng)濺射或熱蒸發(fā)技術相比,離子束輔助沉積有哪些優(yōu)勢?

離子束輔助沉積 (IBAD) 是一種薄膜沉積技術,可與濺射或熱蒸發(fā)工藝一起使用,以獲得具有出色工藝控制和精度的最高質量薄膜。
2023-06-08 11:10:22980

淺析芯片沉積工藝

在了解芯片沉積工藝之前,先要闡述下薄膜(thin film)的概念。薄膜材料是厚度介于單原子到幾毫米間的薄金屬或有機物層。
2023-06-08 11:00:122192

黑莓與Malikie達成專利出售合作Catapult提起訴訟

據悉,黑莓將于2022年結束手機事業(yè),此后正在尋找出售移動設備專利的可能性。黑莓試圖將其專利出售給Catapult,但由于交易時間太長而失敗。Catapult由于無法及時籌集股票資金,失去了從外部收購資產組合的機會。
2023-06-08 10:00:391243

用于室溫二維磁性半導體的超薄鐵氧體納米

武漢大學物理科學與技術學院何軍教授課題組利用范德瓦爾斯外延技術,通過精確控制生長和溫度,在云母襯底上實現了大尺寸、厚度可調、具有高吸收系數的二維硒化鉛納米片。通過化學氣相沉積過程合成了具有一層單位
2023-06-02 07:01:22311

基于PVD 薄膜沉積工藝

PVD篇 PVD是通過濺射或蒸發(fā)靶材材料來產生金屬蒸汽,然后將金屬蒸汽冷凝在晶圓表面上的過程。應用材料公司在 PVD 技術開發(fā)方面擁有 25 年以上的豐富經驗,是這一領域無可爭議的市場領導者
2023-05-26 16:36:511748

KRi 射頻離子源 IBSD 離子束濺射沉積應用

上海伯東美國 KRi 考夫曼品牌 RF 射頻離子源, 無需燈絲提供高能量, 低濃度的寬束離子束, 離子束轟擊濺射目標, 濺射的原子(分子)沉積在襯底上形成薄膜, IBSD 離子束濺射沉積 和 IBD 離子束沉積是其典型的應用.
2023-05-25 10:18:34501

納米壓印,終于走向臺前?

納米壓印技術,即Nanoimprint Lithography(NIL),是一種新型的微納加工技術。該技術將設計并制作在模板上的微小圖形,通過壓印等技術轉移到涂有高分子材料的硅基板上。
2023-05-19 09:37:47949

中微公司推出12英寸薄膜沉積設備Preforma Uniflex? CW

近日,中微半導體設備(上海)股份有限公司(以下簡稱“中微公司”,上交所股票代碼:688012)推出自主研發(fā)的12英寸低壓化學氣相沉積(LPCVD)設備Preforma Uniflex CW。這是中微公司深耕高端微觀加工設備多年、在半導體薄膜沉積領域取得的新突破,也是實現公司業(yè)務多元化增長的新動能。
2023-05-17 17:08:41831

全息圖增強納米級3D打印技術

目前,用于制造具有復雜形狀的納米級物體的最精確的3D打印技術可能是雙光子光刻。這種方法依賴于液態(tài)樹脂,只有當它們同時吸收兩個光子而不是一個光子時,它們才會固化。這使得能夠精確制造具有體素(相當于像素的3D)的物體,尺寸只有幾十納米。
2023-05-17 09:59:22661

半導體材料在納米光子學中的作用

半導體材料在開發(fā)納米光子技術方面發(fā)揮著重要作用。
2023-05-14 16:58:55590

基于銀納米顆粒/銅納米線復合材料的電化學無酶葡萄糖傳感器

研究人員首先對銀納米顆粒/銅納米線進行了合成,并對制備的銅納米線和化學沉積后負載不同尺寸銀納米顆粒的銅納米線進行了形貌和結構表征(圖1)。隨后,利用制備的銀納米顆粒/銅納米線材料制備獲得銀納米顆粒/銅納米線電極,用于后續(xù)無酶葡萄糖傳感性能的研究。
2023-05-12 15:19:28631

新品推薦|XD770.300S大負載壓電納米定位臺

壓電納米定位臺在精密定位領域中發(fā)揮著至關重要的作用,可集成于各類高精密裝備,為其提供納米級運動控制,且應用非常廣泛,例如顯微掃描、光路調整、納米操控技術、激光干涉、納米光刻、生物科技、光通信、納米
2023-05-11 08:56:02347

中國信通院公布 5G 標準必要專利全球最新排名:華為第一、小米首次進入前十

的全部5G聲明專利及其同族擴展專利,從專利聲明量、多國授權專利量、技術領域等維度進行了統(tǒng)計分析,以展示全球5G標準必要專利活動的情況。此外,本報告基于截至2022年12月31日3GPP網站中的全部5G
2023-05-10 10:39:03

晶圓制造的三大核心之薄膜沉積的原子層沉積(ALD)技術

ALD技術是一種將物質以單原子膜的形式逐層鍍在基底表面的方法,能夠實現納米量級超薄膜的沉積
2023-04-25 16:01:052437

基于電沉積法制備的納米微針實現藥物在原代細胞內的有效遞送

納米微針是將外源性生物分子遞送至細胞的有效工具。盡管納米微針目前已被應用于多種疾病的治療,但關于細胞如何與納米微針相互作用的機制仍然缺乏研究。
2023-04-18 09:42:43959

PIC16F1827-I--P

18/20/28針閃存微控制器與納米瓦特XLP技術
2023-03-28 15:01:47

已全部加載完成

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