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GaN單晶晶片的清洗與制造方法

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2022-01-19 11:12:221185

半導(dǎo)體單晶片旋轉(zhuǎn)清洗器中渦流的周期性結(jié)構(gòu)

近年來(lái),隨著集成電路的微細(xì)化,半導(dǎo)體制造清洗方式從被稱為“批量式”的25枚晶片一次清洗的方式逐漸改變?yōu)椤皢螐埵健钡?b class="flag-6" style="color: red">晶片一次清洗的方式。在半導(dǎo)體的制造中,各工序之間進(jìn)行晶片清洗清洗工序
2022-02-22 16:01:08904

晶片清洗是半導(dǎo)體制造中的一個(gè)基礎(chǔ)步驟

摘要 在許多半導(dǎo)體器件的制造中,硅是最有趣和最有用的半導(dǎo)體材料。在半導(dǎo)體器件制造中,各種加工步驟可分為文章全部詳情:壹叁叁伍捌零陸肆叁叁叁四大類,即沉積、去除、圖形化和電性能的修改。在每一步中,晶片
2022-02-23 17:44:201426

清洗半導(dǎo)體晶片方法說(shuō)明

摘要 該公司提供了一種用于清洗半導(dǎo)體晶片方法和設(shè)備 100,該方法方法包括通過(guò)從裝載端口 110 中的盒中取出兩個(gè)或多個(gè)晶片來(lái)填充化學(xué)溶液的第一罐將晶片放入。將晶片放入裝滿液體的第一槽(137
2022-02-28 14:56:03927

單片晶圓清洗干燥性能評(píng)估的結(jié)果與討論

介紹 單晶片清洗工具正在成為半導(dǎo)體行業(yè)取代批量工具的新標(biāo)準(zhǔn)。事實(shí)上,它們成功地提高了清潔性能(工藝均勻性、缺陷率、產(chǎn)量)和工業(yè)方面的考慮(周期時(shí)間、DIW 消耗、環(huán)境)。 盡管如此,單晶圓/批量工具
2022-02-28 14:58:45314

單晶片清洗中分散現(xiàn)象對(duì)清洗時(shí)間的影響

摘要 硅晶片制造涉及許多濕法工藝,其中液體分布在整個(gè)晶片表面。在單晶片工具中,流體分配是至關(guān)重要的,它決定了清潔過(guò)程的均勻性。研究了沖洗流中的流體動(dòng)力學(xué)和化學(xué)傳輸,結(jié)果表明在沖洗時(shí)間的一般分析中必須
2022-03-01 14:38:07330

濕法清洗系統(tǒng)對(duì)晶片表面顆粒污染的影響

摘要 研究了泵送方法對(duì)晶片清洗的影響。兩種類型的泵,例如隔膜泵和離心泵,用于在濕浴和單晶片工具中循環(huán)和供應(yīng)用于晶片清潔的去離子水。清洗研究表明,泵送方法對(duì)清洗性能有很大影響。實(shí)驗(yàn)研究表明,在 MLC
2022-03-02 13:56:46521

半導(dǎo)體工藝—晶片清洗工藝評(píng)估

摘要 本文介紹了半導(dǎo)體晶片加工中為顆粒去除(清洗)工藝評(píng)估而制備的受污染測(cè)試晶片老化的實(shí)驗(yàn)研究。比較了兩種晶片制備技術(shù):一種是傳統(tǒng)的濕法技術(shù),其中裸露的硅晶片浸泡在充滿顆粒的溶液中,然后干燥;另一種
2022-03-04 15:03:502588

兆聲清洗晶片過(guò)程中去除力的分析

在半導(dǎo)體器件的制造過(guò)程中,兆聲波已經(jīng)被廣泛用于從硅晶片上去除污染物顆粒。在這個(gè)過(guò)程中,平面硅片被浸入水基溶液中,并受到頻率在600千赫-1兆赫范圍內(nèi)的聲能束的作用。聲波通常沿著平行于晶片/流體界面
2022-03-15 11:28:22460

晶片清洗及其對(duì)后續(xù)紋理過(guò)程的影響

殘留物由不同量的聚乙二醇或礦物油(切削液)、鐵和銅的氧化物、碳化硅和研磨硅,這些殘留物可以通過(guò)鋸切過(guò)程中產(chǎn)生的摩擦熱燒到晶片表面,為了去除這些殘留物,需要選擇正確的化學(xué)物質(zhì)來(lái)補(bǔ)充所使用的設(shè)備。 在晶片清洗并給予
2022-03-15 16:25:37320

新型全化學(xué)晶片清洗技術(shù)詳解

本文介紹了新興的全化學(xué)晶片清洗技術(shù),研究它們提供更低的水和化學(xué)消耗的能力,提供了每種技術(shù)的工藝應(yīng)用、清潔機(jī)制、工藝效益和考慮因素、環(huán)境、安全和健康(ESH)效益和考慮因素、技術(shù)狀態(tài)和供應(yīng)商信息的可用信息。
2022-03-16 15:24:57308

預(yù)清洗對(duì)KOH/IPA溶液中單晶硅表面紋理化的影響

實(shí)驗(yàn)研究了預(yù)清洗對(duì)KOH/IPA溶液中單晶硅表面紋理化的影響。如果沒(méi)有適當(dāng)?shù)念A(yù)清洗,表面污染會(huì)形成比未污染區(qū)域尺寸小的金字塔,導(dǎo)致晶片表面紋理特征不均勻,晶片表面反射率不均勻。根據(jù)供應(yīng)商的不同,晶片的表面質(zhì)量和污染水平可能會(huì)有所不同,預(yù)清洗條件可能需要定制,以達(dá)到一致和期望的紋理化結(jié)果。
2022-03-17 15:23:08501

清洗晶片污染物的實(shí)驗(yàn)研究

本研究的目的是為高效半導(dǎo)體器件的制造提出高效的晶圓清洗方法,主要特點(diǎn)是清洗過(guò)程是在室溫和標(biāo)準(zhǔn)壓力下進(jìn)行的,沒(méi)有特殊情況。盡管該方法與實(shí)際制造工藝相比,半導(dǎo)體公司的效率相對(duì)較低,但本研究可以提出在室溫
2022-03-21 15:33:52373

半導(dǎo)體制造過(guò)程中的新一代清洗技術(shù)

。半導(dǎo)體清洗過(guò)程主要使用化學(xué)溶劑和超純水(deionized water)的濕清洗房間法以及等離子體、高壓氣溶膠(aerosol)和激光。在本文中,我將了解半導(dǎo)體設(shè)備制造過(guò)程變遷中晶片清洗過(guò)程的重要性和熱點(diǎn)問(wèn)題,概述目前半導(dǎo)體設(shè)備制造企業(yè)使用的清洗技術(shù)和新一代清洗技術(shù),并對(duì)每種方法進(jìn)行比較考察。
2022-03-22 14:13:163579

單片SPM系統(tǒng)的清洗技術(shù)

單片SPM系統(tǒng)使用了大量的化學(xué)物質(zhì),同時(shí)滿足28nm以下的清潔規(guī)格。 本文描述了在集成系統(tǒng)Ultra-C Tahoe中使用批量SPM系統(tǒng)和單晶片清洗,結(jié)果達(dá)到了技術(shù)規(guī)范,使用了不到單晶片系統(tǒng)中使用的80%的SPM化學(xué)物質(zhì)。
2022-04-01 14:22:551155

半導(dǎo)體制造過(guò)程中的硅晶片清洗工藝

在許多半導(dǎo)體器件的制造中,硅是最有趣和最有用的半導(dǎo)體材料。 在半導(dǎo)體器件制造中,各種加工步驟可分為四大類,即沉積、去除、圖形化和電性能的修改。 在每一步中,晶片清洗都是開發(fā)半導(dǎo)體電子器件的首要和基本步驟。 清洗過(guò)程是在不改變或損壞晶圓表面或基片的情況下去除化學(xué)物質(zhì)和顆粒雜質(zhì)。
2022-04-01 14:25:332948

碳化硅(SiC)器件制造工藝中的清洗方法

碳化硅(SiC)器件制造技術(shù)與硅制造有許多相似之處,但識(shí)別材料差異是否會(huì)影響清洗能力對(duì)于這個(gè)不斷發(fā)展的領(lǐng)域很有意義。材料參數(shù)差異包括擴(kuò)散系數(shù)、表面能和化學(xué)鍵強(qiáng)度,所有這些都可以在清潔關(guān)鍵表面方面
2022-04-07 14:46:595904

濕法清洗過(guò)程中晶片旋轉(zhuǎn)速度的影響

噴涂工具、或單晶片旋轉(zhuǎn)工具。在批量浸漬工具中,與其他濕法加工工具相比,存在由水槽中晶片之間的顆粒轉(zhuǎn)移引起的交叉污染問(wèn)題。批量旋轉(zhuǎn)噴涂工具用于在生產(chǎn)線后端(BEOL)進(jìn)行蝕刻后互連清洗
2022-04-08 14:48:32585

DIO3、單晶圓超晶圓及其混合半導(dǎo)體清洗方法

雖然RCA濕式清洗工藝具有較高的清洗性能,但仍存在化學(xué)消耗量高、化學(xué)使用壽命短、設(shè)備大、化學(xué)廢物產(chǎn)生量大等問(wèn)題。傳統(tǒng)的臭氧化水(DIO3)濕式清洗系統(tǒng)具有較高的有機(jī)污染物清洗效率,0.1?/min
2022-04-11 14:03:281672

單晶晶片的超聲輔助化學(xué)蝕刻

用氟化氫-氯化氫-氯氣混合物進(jìn)行各向異性酸性蝕刻是一種有效的方法 單晶晶片紋理化的替代方法晶片表面形成倒金字塔結(jié)構(gòu)[1,2]形貌取決于以下成分 蝕刻混合物[3]硅在HF-HCl[1]Cl2
2022-04-12 14:10:22361

晶片的蝕刻預(yù)處理方法包括哪些

晶片的蝕刻預(yù)處理方法包括:對(duì)角度聚合的硅晶片進(jìn)行最終聚合處理,對(duì)上述最終聚合的硅晶片進(jìn)行超聲波清洗后用去離子水沖洗,對(duì)上述清洗和沖洗的硅晶片進(jìn)行SC-1清洗后用去離子水沖洗,對(duì)上述清洗和沖洗的硅晶片進(jìn)行佛山清洗后用去離子水沖洗的步驟,對(duì)所有種類的硅晶片進(jìn)行蝕刻預(yù)處理,特別是P(111)。
2022-04-13 13:35:46852

一種除去晶片表面有機(jī)物的清洗方法

法與添加臭氧的超純水相結(jié)合的新清洗法,與以往的方法相比,具有更好的清洗能力,在抑制自然氧化膜生成的同時(shí),可以在短時(shí)間內(nèi)完全除去晶片表面的有機(jī)物。
2022-04-13 15:25:211593

濕式化學(xué)清洗過(guò)程對(duì)硅晶片表面微粒度的影響

本文利用CZ、FZ和EPI晶片,研究了濕式化學(xué)清洗過(guò)程對(duì)硅晶片表面微粒度的影響。結(jié)果表明,表面微粗糙度影響了氧化物的介電斷裂~特性:隨著硅基底的微粗糙度的增加,氧化物的微電擊穿會(huì)降解。利用
2022-04-14 13:57:20459

一種用濕式均勻清洗半導(dǎo)體晶片方法

本發(fā)明公開了一種用濕式均勻清洗半導(dǎo)體晶片方法,所公開的本發(fā)明的特點(diǎn)是:具備半導(dǎo)體晶片和含有預(yù)定清潔液的清潔組、對(duì)齊上述半導(dǎo)體晶片的平坦區(qū)域,使其不與上述清潔組的入口相對(duì)、將上述對(duì)齊的半導(dǎo)體晶片浸入
2022-04-14 15:13:57604

半導(dǎo)體器件制造過(guò)程中的清洗技術(shù)

在半導(dǎo)體器件的制造過(guò)程中,由于需要去除被稱為硅晶片的硅襯底上納米級(jí)的異物(顆粒),1/3的制造過(guò)程被稱為清洗過(guò)程。在半導(dǎo)體器件中,通常進(jìn)行RCA清潔,其中半導(dǎo)體器件以一批25個(gè)環(huán)(盒)為單位,依次
2022-04-20 16:10:293200

一種新型的全化學(xué)晶片清洗技術(shù)

本文介紹了新型的全化學(xué)晶片清洗技術(shù),研究它們是否可以提供更低的水和化學(xué)消耗的能力,能否提供每種技術(shù)的工藝應(yīng)用、清潔機(jī)制、工藝效益以及考慮因素、環(huán)境、安全、健康(ESH)效益、技術(shù)狀態(tài)和供應(yīng)商信息的可用信息。
2022-04-21 12:28:40258

使用單晶片自旋處理器的背面清潔研究

在這項(xiàng)研究中,我們?nèi)A林科納使用經(jīng)濟(jì)特區(qū)單晶片自旋處理器開發(fā)了一種單一背面清潔解決方案,能夠通過(guò)蝕刻晶片背面的幾埃來(lái)去除任何金屬或外來(lái)污染物,無(wú)論其涂層如何(無(wú)涂層、Si3N4或SiO2)。選擇H2O
2022-05-06 14:06:45339

用于光刻膠去除的單晶片清洗技術(shù)

本文的目標(biāo)是討論一種新技術(shù),它可以在保持競(jìng)爭(zhēng)力的首席運(yùn)營(yíng)官的同時(shí)改善權(quán)衡。 將開發(fā)濕化學(xué)抗蝕劑去除溶液的能力與對(duì)工藝和工具要求的理解相結(jié)合,導(dǎo)致了用于光刻膠去除的單晶片清洗技術(shù)的發(fā)展。 該技術(shù)針對(duì)
2022-05-07 15:11:11621

晶片清洗技術(shù)

本文闡述了金屬雜質(zhì)和顆粒雜質(zhì)在硅片表面的粘附機(jī)理,并提出了一些清洗方法
2022-05-11 16:10:274

SAPS兆頻超聲波技術(shù)應(yīng)用于TSV晶片的刻蝕后清洗工藝

,F(xiàn)IB-SEM用于評(píng)估鍍銅性能,TSV泄漏電流圖和電壓斜坡介電擊穿(VRDB)作為主要電氣可靠性指標(biāo),也用于評(píng)估清潔效果,測(cè)試結(jié)果表明,兆聲能量可以傳播到TSV的底部,與傳統(tǒng)的單晶片噴淋清洗相比,經(jīng)過(guò)SAPS清洗晶片表現(xiàn)出明顯的電學(xué)性能提高。
2022-05-26 15:07:03700

溢流晶片清洗工藝中的流場(chǎng)概述

引言 描述了溢流晶片清洗工藝中的流場(chǎng)。該信息被用于一項(xiàng)倡議,其主要目的是減少晶片清洗中的用水量。使用有限元數(shù)值技術(shù)計(jì)算速度場(chǎng)。大部分的水無(wú)助于晶片清洗。 介紹 清洗步驟占工廠中使用的ulaa純水
2022-06-06 17:24:461044

使用脈動(dòng)流清洗毯式和圖案化晶片的工藝研究

表面和亞微米深溝槽的清洗在半導(dǎo)體制造中是一個(gè)巨大的挑戰(zhàn)。在這項(xiàng)工作中,使用物理數(shù)值模擬研究了使用脈動(dòng)流清洗毯式和圖案化晶片。毯式晶片清洗工藝的初步結(jié)果與文獻(xiàn)中的數(shù)值和實(shí)驗(yàn)結(jié)果吻合良好。毯式和圖案化晶片的初步結(jié)果表明,振蕩流清洗比穩(wěn)定流清洗更有效,并且振蕩流的最佳頻率是溝槽尺寸的函數(shù)。
2022-06-07 15:51:37291

基板旋轉(zhuǎn)沖洗過(guò)程中小結(jié)構(gòu)的表面清洗

引言 小結(jié)構(gòu)的清洗和沖洗是微電子和納米電子制造中的重要過(guò)程。最新技術(shù)使用“單晶片旋轉(zhuǎn)清洗”,將超純水(UPW)引入到安裝在旋轉(zhuǎn)支架上的晶片上。這是一個(gè)復(fù)雜的過(guò)程,其降低水和能源使用的優(yōu)化需要更好地理
2022-06-08 17:28:50865

降低超薄柵氧化層漏電流的預(yù)氧化清洗方法

本發(fā)明涉及一種在集成電路制造中減少漏電流的方法,更具體地說(shuō),涉及一種在集成電路制造中通過(guò)新的預(yù)氧化清洗順序減少超薄柵氧化物漏電流的方法。 根據(jù)本發(fā)明的目的,實(shí)現(xiàn)了一種預(yù)氧化清洗襯底表面的新方法。我們
2022-06-17 17:20:40783

單晶片背面和斜面清潔(上)

介紹 在IC制造中,從晶圓背面(BS)去除顆粒變得與從正面(FS)去除顆粒一樣重要。例如,在光刻過(guò)程中,; BS顆粒會(huì)導(dǎo)致頂側(cè)表面形貌的變化。由于焦深(DOF)的處理窗口減小,這可能導(dǎo)致焦點(diǎn)故障
2022-06-27 18:54:41796

基于晶圓鍵合的三維集成應(yīng)用中的高效單片清洗

本文描述了我們?nèi)A林科納單晶片超電子清洗方法的開發(fā)、測(cè)試和驗(yàn)證,該傳感器設(shè)計(jì)滿足極端顆粒中性、顆粒去除效率(PRE)和生產(chǎn)規(guī)模晶片粘合的可重復(fù)性要求,以及其他需要極低顆粒水平的應(yīng)用。不同的微電子過(guò)程
2022-06-28 17:25:04809

單次清洗晶圓的清洗方法及解決方案

本文講述了我們?nèi)A林科納的一種在單個(gè)晶圓清洗工藝中使用新型清洗溶液的方法,該方法涉及在單一晶片模式下使用清洗溶液,并且清洗溶液包括至少包括氫氧化銨(NH-OH)、過(guò)氧化氫(HO)、水(HO)和螯合劑
2022-06-30 17:22:112101

不同的濕法晶片清洗技術(shù)方法

雖然聽起來(lái)可能沒(méi)有極紫外(EUV)光刻那么性感,但對(duì)于確保成功的前沿節(jié)點(diǎn)、先進(jìn)半導(dǎo)體器件制造,濕法晶片清洗技術(shù)可能比EUV更重要,這是因?yàn)槠骷目煽啃院妥罱K產(chǎn)品的產(chǎn)量都與晶片的清潔度直接相關(guān),因?yàn)?b class="flag-6" style="color: red">晶片要經(jīng)過(guò)數(shù)百個(gè)圖案化、蝕刻、沉積和互連工藝步驟。
2022-07-07 16:24:231578

晶片清洗技術(shù)

的實(shí)驗(yàn)和理論分析來(lái)建立晶片表面清潔技術(shù)。本文解釋了金屬和顆粒雜質(zhì)在硅片表面的粘附機(jī)理,并提出了一些清洗方法。 介紹 LSI(大規(guī)模集成電路)集成密度的增加對(duì)硅片質(zhì)量提出了更高的要求。更高質(zhì)量的晶片意味著晶體精度、成形質(zhì)量和
2022-07-11 15:55:451025

晶片的酸基蝕刻:傳質(zhì)和動(dòng)力學(xué)效應(yīng)

拋光硅晶片是通過(guò)各種機(jī)械和化學(xué)工藝制備的。首先,硅單晶錠被切成圓盤(晶片),然后是一個(gè)稱為拍打的扁平過(guò)程,包括使用磨料清洗晶片。通過(guò)蝕刻消除了以往成形過(guò)程中引起的機(jī)械損傷,蝕刻之后是各種單元操作,如拋光和清洗之前,它已經(jīng)準(zhǔn)備好為設(shè)備制造
2023-05-16 10:03:00584

臭氧清洗系統(tǒng)的制備及其在硅晶片清洗中的應(yīng)用

在半導(dǎo)體和太陽(yáng)能電池制造過(guò)程中,清洗晶圓的技術(shù)的提升是為了制造高質(zhì)量產(chǎn)品。目前已經(jīng)有多種濕法清洗晶圓的技術(shù),如離子水清洗、超聲波清洗、低壓等離子和機(jī)械方法。由于濕法工藝一般需要使用含有有害化學(xué)物質(zhì)的酸和堿溶液,會(huì)產(chǎn)生大量廢水,因此存在廢物處理成本和環(huán)境監(jiān)管等問(wèn)題。
2023-06-02 13:33:211021

GaN外延生長(zhǎng)方法及生長(zhǎng)模式

由于GaN在高溫生長(zhǎng)時(shí)N的離解壓很高,很難得到大尺寸的GaN單晶材料,因此,為了實(shí)現(xiàn)低成本、高效、高功率的GaN HEMTs器件,研究人員經(jīng)過(guò)幾十年的不斷研究,并不斷嘗試?yán)貌煌耐庋由L(zhǎng)方法在Si
2023-06-10 09:43:44681

細(xì)說(shuō)單晶硅太陽(yáng)能電池的清洗制絨

根據(jù)太陽(yáng)能電池種類的差異,不同太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)工藝也會(huì)有所不同,抉擇一塊電池性能的重要環(huán)節(jié)是制作太陽(yáng)能電池的清洗制絨。單晶硅太陽(yáng)能電池生產(chǎn)工藝的優(yōu)劣可判斷其在應(yīng)用過(guò)程中是否具有超高的使用價(jià)值
2023-08-19 08:36:27811

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