動態(tài)
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發(fā)布了文章 2025-04-11 22:51
聚焦離子束技術(shù)的原理和應(yīng)用
聚焦離子束(FIB)技術(shù)在納米科技里很重要,它在材料科學、微納加工和微觀分析等方面用處很多。離子源:FIB的核心部件離子源是FIB系統(tǒng)的關(guān)鍵部分,液態(tài)金屬離子源(LMIS)用得最多,特別是鎵(Ga)離子源。鎵的熔點低,能形成穩(wěn)定的液態(tài)金屬源,而且鎵離子聚焦性能好,能聚焦成很細的束斑,用來精確加工和分析材料。在離子源里,金屬離子被電場加速和聚焦,形成高能、高精75瀏覽量 -
發(fā)布了文章 2025-04-10 12:17
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