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長期工作的充電樁電源模塊中碳化硅MOSFET失效率越來越高的罪魁禍首:柵氧可靠性埋了大雷

楊茜 ? 來源:jf_33411244 ? 作者:jf_33411244 ? 2025-03-24 10:44 ? 次閱讀

近期很多充電運營商反應采用國產碳化硅MOSFET的工作僅僅一兩年的充電樁電源模塊故障頻率越用越高,結合常見碳化硅MOSFET的失效問題,不難看出充電樁電源模塊中碳化硅MOSFET失效頻率越用越高罪魁禍首是部分國產碳化硅MOSFET柵氧化層的可靠性埋了大雷:短期使用看不出問題,長期工作下來充電樁電源模塊失效率持續增加,尤其是在高溫環境下長期服役的充電場景。

國產碳化硅MOSFET在充電樁電源模塊中隨著工作時間增加故障率升高的應用痛點,主要源于柵氧化層可靠性不足。以下為具體分析與解決方案:

國產碳化硅MOSFET在充電樁電源模塊中隨著工作時間增加失效率而增加原因分析

柵氧化層過薄
部分國產SiC碳化硅MOSFET廠商為降低比導通電阻(Rds(on)sp)和成本,在工藝條件受限的情況下,過度減薄柵氧化層厚度(如低于40nm)。根據TDDB實驗數據,薄柵氧在高電場下壽命顯著縮短(如103小時),導致長期工作后易發生經時擊穿(TDDB失效)。

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高溫高電場應力
充電樁工作環境惡劣(高溫、高頻開關、高電壓),加速柵氧化層老化。若部分國產SiC碳化硅MOSFET器件未通過嚴格的HTGB(高溫柵偏)和TDDB測試,閾值電壓漂移(Vth shift)或氧化層擊穿風險大幅增加。

制造工藝缺陷
部分國產SiC碳化硅MOSFET柵氧生長工藝不均勻或界面缺陷(如SiC/SiO?界面態密度高),在長期應力下缺陷積累,引發漏電流激增或局部擊穿。

解決方案

1. 國產碳化硅MOSFET器件設計與制造優化

合理設計柵氧厚度
根據TDDB模型(如E模型或1/E模型),確保柵氧厚度以平衡導通電阻與可靠性,避免盲目追求低成本減薄。

改進柵氧工藝
采用高質量氧化層生長技術(如熱氧化結合氮化退火),降低界面態密度,提升柵氧均勻性。

2. 強化國產碳化硅MOSFET可靠性測試

嚴格執行HTGB與TDDB測試
參考JEDEC標準(如JESD22-A-108),在研發階段通過加速壽命實驗(如175°C、22V HTGB 1000小時)篩選可靠性不足的器件。

增加批次抽樣比例
對量產器件提高抽樣測試覆蓋率,確保每批次均滿足長期可靠性要求(如TDDB壽命>10?小時)。

3. 國產碳化硅MOSFET應用端設計優化

降額使用
實際應用中,柵極電壓(Vgs)應低于器件標稱耐壓(如標稱20V時限制在18V以下),并控制結溫(Tj≤175°C),延長柵氧壽命。

優化散熱設計
加強充電樁電源模塊散熱(如采用熱管或液冷),降低器件工作溫度,減緩碳化硅MOSFET柵氧化層熱退化。

4. 國產碳化硅MOSFET供應鏈與失效分析

嚴選供應商
優先選擇通過AEC-Q101認證的廠商,確保器件可靠性數據(如HTGB/TDDB報告)透明可追溯。

深度失效分析
對故障模塊進行電鏡(SEM/TEM)和能譜分析(EDS),定位失效點是否為柵氧擊穿,針對性改進工藝。

結論

國產碳化硅MOSFET的可靠性短板可通過設計優化、工藝升級、嚴格測試應用端協同設計系統性解決。廠商需摒棄“犧牲可靠性換成本”的短視策略,而充電樁企業應建立器件選型與可靠性驗證體系,共同提升電源模塊的長期穩定性。

審核編輯 黃宇

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