氬離子拋光技術(shù)又稱CP截面拋光技術(shù)，是利用氬離子束對(duì)樣品進(jìn)行拋光，可以獲得表面平滑的樣品，而不會(huì)對(duì)樣品造成機(jī)械損害。去除損傷層，從而得到高質(zhì)量樣品，用于在SEM，光鏡或者掃描探針顯微鏡上進(jìn)行成像、EDS、EBSD、CL、EBIC或其它分析。

同時(shí)，CP截面拋光儀制樣廣泛，可用于于各種材料樣品（除了液態(tài)）的制備，適應(yīng)大多數(shù)材料類型，對(duì)大面積、表面或輻照及能量敏感樣品尤佳，有鋼鐵、地質(zhì)、油頁(yè)巖、鋰離子電池、光伏材料、陶瓷、金屬(氧化物,合金)、高分子，聚合物、薄膜、半導(dǎo)體、EBSD樣品、生物材料等包括平面拋光與截面拋光。

應(yīng)用范圍

1.鋰電池領(lǐng)域

在鋰電池領(lǐng)域，氬離子束拋光技術(shù)主要應(yīng)用于電極片的制備。鋰電池的性能和壽命與其電極材料的微觀結(jié)構(gòu)密切相關(guān)。氬離子束拋光技術(shù)能夠清晰地展示正極片和負(fù)極片的微觀結(jié)構(gòu)，為電池材料的研究和質(zhì)量控制提供重要支持。

鋰電池正極片氬離子拋光(CP離子研磨)制樣后效果圖

2.金屬與合金領(lǐng)域

氬離子束拋光技術(shù)在金屬和合金的樣品制備中也得到了廣泛應(yīng)用。金屬材料的表面質(zhì)量和微觀結(jié)構(gòu)對(duì)其性能和應(yīng)用效果具有重要影響。氬離子束拋光技術(shù)能夠?qū)崿F(xiàn)金屬表面的高平整度和高清潔度處理，同時(shí)保留金屬的原始晶體結(jié)構(gòu)。例如，在鋼鐵材料的研究中，氬離子束拋光技術(shù)能夠清晰地展示鋼材的微觀組織結(jié)構(gòu)，如晶粒尺寸、相分布等，從而為鋼材的性能優(yōu)化和質(zhì)量控制提供重要依據(jù)。

在合金材料的研究中，氬離子束拋光技術(shù)能夠揭示合金的微觀相結(jié)構(gòu)和元素分布，這對(duì)于理解合金的性能和開(kāi)發(fā)新型合金材料具有重要意義。

3.半導(dǎo)體與微電子領(lǐng)域

氬離子束拋光技術(shù)在半導(dǎo)體和微電子領(lǐng)域的應(yīng)用也極為重要。半導(dǎo)體材料的表面質(zhì)量和微觀結(jié)構(gòu)對(duì)其電學(xué)性能和光學(xué)性能具有決定性影響。氬離子束拋光技術(shù)能夠?qū)崿F(xiàn)半導(dǎo)體表面的高精度處理，同時(shí)避免引入任何化學(xué)污染或機(jī)械損傷。這種高質(zhì)量的表面處理效果為半導(dǎo)體材料的性能測(cè)試和器件制造提供了理想的樣品。

例如，在硅片的拋光中，氬離子束拋光技術(shù)能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)的表面平整度，從而為后續(xù)的光刻和蝕刻工藝提供高質(zhì)量的表面。在半導(dǎo)體器件的制備中，氬離子束拋光技術(shù)能夠?qū)崿F(xiàn)器件內(nèi)部結(jié)構(gòu)的高精度觀察，為器件的性能優(yōu)化和可靠性評(píng)估提供重要支持。

4.陶瓷與復(fù)合材料領(lǐng)域

氬離子束拋光技術(shù)在陶瓷和復(fù)合材料的樣品制備中也得到了廣泛應(yīng)用。陶瓷材料的表面質(zhì)量和微觀結(jié)構(gòu)對(duì)其力學(xué)性能和熱學(xué)性能具有重要影響。氬離子束拋光技術(shù)能夠?qū)崿F(xiàn)陶瓷表面的高平整度和高清潔度處理，同時(shí)保留陶瓷的原始晶體結(jié)構(gòu)。這種高質(zhì)量的表面處理效果為陶瓷材料的性能測(cè)試和應(yīng)用開(kāi)發(fā)提供了理想的樣品。例如，在氧化鋁陶瓷的研究中，氬離子束拋光技術(shù)能夠清晰地展示陶瓷的微觀結(jié)構(gòu)，如晶粒尺寸、晶界分布等，從而為陶瓷材料的性能優(yōu)化和質(zhì)量控制提供重要依據(jù)。

5.生物材料與生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域

氬離子束拋光技術(shù)在生物材料和生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域的應(yīng)用也逐漸受到關(guān)注。生物材料的表面質(zhì)量和微觀結(jié)構(gòu)對(duì)其生物相容性和生物活性具有重要影響。氬離子束拋光技術(shù)能夠?qū)崿F(xiàn)生物材料表面的高精度處理，同時(shí)避免引入任何化學(xué)污染或機(jī)械損傷。這種高質(zhì)量的表面處理效果為生物材料的性能測(cè)試和應(yīng)用開(kāi)發(fā)提供了理想的樣品。

在鋰電池電極片中的應(yīng)用效果

氬離子束拋光技術(shù)在鋰電池電極片的制備中表現(xiàn)出色，能夠提供清晰的微觀結(jié)構(gòu)圖像，助力電池材料的深入研究和質(zhì)量把控。在鋰電池的研究中，電極片的微觀結(jié)構(gòu)對(duì)其性能和壽命具有重要影響。金鑒實(shí)驗(yàn)室通過(guò)氬離子束拋光技術(shù)能夠清晰地展示正極片和負(fù)極片的微觀結(jié)構(gòu)，為電池材料的研究和質(zhì)量控制提供重要支持。

1.正極片的應(yīng)用效果

經(jīng)過(guò)氬離子束拋光的鋰電池正極片，其微觀結(jié)構(gòu)清晰可見(jiàn)，展現(xiàn)出良好的均勻性和一致性。正極材料的微觀結(jié)構(gòu)，如顆粒尺寸、孔隙率和晶體取向等，對(duì)其電化學(xué)性能和熱穩(wěn)定性具有重要影響。氬離子束拋光技術(shù)能夠清晰地展示這些微觀結(jié)構(gòu)特征，從而為研究人員提供準(zhǔn)確的分析數(shù)據(jù)。例如，通過(guò)觀察正極片的微觀結(jié)構(gòu)，研究人員可以評(píng)估材料的結(jié)晶度和顆粒分布，進(jìn)而優(yōu)化正極材料的制備工藝，提高電池的性能和壽命。

鋰電池正極片氬離子拋光(CP離子研磨)制樣后效果圖

鋰電池正極片氬離子拋光(CP離子研磨)制樣后效果圖

2.負(fù)極片的應(yīng)用效果

負(fù)極片的氬離子束拋光效果圖則揭示了材料的微觀結(jié)構(gòu)細(xì)節(jié)，為研究電池充放電過(guò)程中的物理化學(xué)變化提供了關(guān)鍵信息。負(fù)極材料的微觀結(jié)構(gòu)，如顆粒尺寸、孔隙率和表面形貌等，對(duì)其電化學(xué)性能和循環(huán)穩(wěn)定性具有重要影響。

鋰電池負(fù)極片氬離子拋光(CP離子研磨)制樣后效果圖

3.電池隔膜的應(yīng)用效果

電池隔膜的氬離子束拋光效果圖清晰地展示了隔膜材料的孔隙結(jié)構(gòu)和表面特性。隔膜的孔隙結(jié)構(gòu)和表面特性對(duì)其離子傳輸性能和機(jī)械穩(wěn)定性具有重要影響。氬離子束拋光技術(shù)能夠清晰地展示這些微觀結(jié)構(gòu)特征，從而為研究人員提供準(zhǔn)確的分析數(shù)據(jù)。例如，通過(guò)觀察隔膜的孔隙結(jié)構(gòu)，研究人員可以評(píng)估隔膜的離子傳輸性能和機(jī)械穩(wěn)定性，進(jìn)而優(yōu)化隔膜材料的設(shè)計(jì)和制備工藝，提高電池的性能和壽命。

電池隔膜氬離子拋光制樣后效果圖

電池隔膜氬離子拋光制樣后效果

結(jié)論

氬離子拋光技術(shù)以其高效、無(wú)損的特點(diǎn)，已成為鋰電池電極片SEM電鏡測(cè)試的優(yōu)選技術(shù)。