隨著電子器件對高溫環境下工作的需求不斷提高，DPC（磁控濺射工藝）覆銅陶瓷基板作為一種高溫穩定性強、熱導率高的散熱材料得到了廣泛的應用。本文將從材料、結構、工藝等方面，探討DPC覆銅陶瓷基板的設計和應用。

一、材料選擇

選擇高溫穩定性好、熱導率高的陶瓷基板非常關鍵。常用的陶瓷材料有Al2O3、AlN、Si3N4等。以Al2O3為例，其熱導率高達24~30W/(m·K)，熱膨脹系數約為8.2×10^-6/℃，與大多數芯片的熱膨脹系數相似?；灞砻娴奶沾蓪討摴饣鶆?，并具有良好的附著力、抗氧化性、耐磨性和耐腐蝕性。

散熱性能：DPC覆銅陶瓷基板的散熱性能是影響其在高溫環境下工作的關鍵因素之一。為了測試DPC覆銅陶瓷基板的散熱性能，可以采用熱電偶測溫法、紅外線測溫法、熱像儀等測試方法。實驗結果表明，DPC覆銅陶瓷基板的散熱性能較好，可以有效地散熱，降低溫度對電子器件的影響。

二、結構設計

DPC覆銅陶瓷基板的結構設計包括銅箔厚度、孔徑大小、銅箔的布局方式和陶瓷基板的厚度等。銅箔厚度的選擇應該根據散熱要求和芯片功率密度等參數來確定。銅箔的布局方式有兩種，一種是全面鋪銅，即銅箔鋪滿整個基板表面；另一種是局部鋪銅，即只在芯片周圍區域鋪設銅箔。局部鋪銅的方式可以減少銅箔面積，降低成本，但銅箔與基板的附著力需要更高。陶瓷基板的厚度也需要根據具體的應用需求來選擇。

三、工藝流程

DPC工藝是將金屬材料蒸發成分子，然后在陶瓷基板表面生成一層金屬膜的過程。其主要工藝流程包括清洗基板表面、陶瓷基板的熱處理、金屬材料的靶材制備、靶材的負偏壓DPC、薄膜厚度的測量和表面處理等。其中，熱處理可以提高陶瓷基板的熱穩定性和附著力，保證覆蓋的銅箔在高溫環境下不會剝離。

四、應用領域

DPC覆銅陶瓷基板在高溫環境下的應用領域主要包括電力電子、航空航天、核工業等領域。在電力電子領域，DPC覆銅陶瓷基板可以應用于IGBT（Insulated Gate Bipolar Transistor）等功率器件的散熱；在航空航天領域，DPC覆銅陶瓷基板可以用于導航儀、雷達等高溫環境下的電子設備的散熱；在核工業領域，DPC覆銅陶瓷基板可以應用于核反應堆中的計算機和儀器的散熱等。

IGBT模塊結構模塊

總之，DPC覆銅陶瓷基板的設計和應用需要考慮多方面的因素，并且需要進行大量的實驗和數據分析。通過選擇合適的材料、設計合理的結構和工藝，可以提高DPC覆銅陶瓷基板在高溫環境下的性能和可靠性，為電子器件的高溫應用提供保障。

審核編輯 黃宇