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M5525100－1/UM型大角度離子注入機(jī):M5525100－1/UM 型大角度離子注入機(jī)可滿足100 納米，8 英寸集成電路制造工藝的要求，適合源漏區(qū)的大角度暈、袋、柵閾值調(diào)整、阱等注入，可獲得良好的注入均勻性、重復(fù)性。M5525100－1/UM 型大角度離子注入機(jī)突破了離子注入機(jī)設(shè)計(jì)與制造的關(guān)鍵技術(shù)，在離子注入機(jī)的總體設(shè)計(jì)與集成、自動(dòng)化與可靠性設(shè)計(jì)等核心技術(shù)上取得突破。整機(jī)包括束線系統(tǒng)、電源系統(tǒng)、靶室系統(tǒng)、輔助系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等五大系統(tǒng)。
該設(shè)備實(shí)現(xiàn)了全自動(dòng)智能控制及晶片自動(dòng)傳輸控制，采用單圓片傳送系統(tǒng)及靜電夾持技
術(shù)，可實(shí)現(xiàn)大角度(0～60°)和零角度注入功能；使用長(zhǎng)壽命離子源，大大提高了設(shè)備正常
運(yùn)行時(shí)間；對(duì)注入束的均勻性和劑量實(shí)時(shí)監(jiān)控； 整機(jī)配備SMIF 系統(tǒng)，具備適應(yīng)大生產(chǎn)線的生產(chǎn)效率和高可靠性，完全可替代同類進(jìn)口設(shè)備。
該設(shè)備實(shí)現(xiàn)了全自動(dòng)智能控制及晶片自動(dòng)傳輸控制，采用單圓片傳送系統(tǒng)及靜電夾持技
術(shù)，可實(shí)現(xiàn)大角度(0～60°)和零角度注入功能；使用長(zhǎng)壽命離子源，大大提高了設(shè)備正常
運(yùn)行時(shí)間；對(duì)注入束的均勻性和劑量實(shí)時(shí)監(jiān)控； 整機(jī)配備SMIF 系統(tǒng)，具備適應(yīng)大生產(chǎn)線的生產(chǎn)效率和高可靠性，完全可替代同類進(jìn)口設(shè)備。
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