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電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子元器件應(yīng)用>提高藍(lán)寶石襯底制造效率的方法介紹

提高藍(lán)寶石襯底制造效率的方法介紹

2017-10-24 | rar | 0.1 MB | 次下載 | 免費(fèi)

資料介紹

  將垂直整合方法應(yīng)用於制造業(yè)并不是一件新鮮的事情。早在19世紀(jì),美國鋼鐵大亨Andrew Carnegie 就通過掌握幾乎全部鋼鐵制造業(yè)的價(jià)值鏈,從鐵礦石到煉鋼廠一直到鐵路建造而實(shí)施了垂直整合這個(gè)概念。到了20世紀(jì)20年代,福特汽車公司也采用了垂直整合方法,福特公司決定自己制造汽車用的鋼鐵材料。從那以後,垂直整合方法已經(jīng)應(yīng)用到全球絕大部分類型的制造業(yè)中,其中也包括了藍(lán)寶石襯底制造業(yè)。

  位于美國伊利諾伊州Bensenville的Rubicon公司所要做的是創(chuàng)造出藍(lán)寶石襯底制造業(yè)界最具垂直型整合的產(chǎn)業(yè)模式,它能以高的可靠性和效益/ 成本比來提供超純、無缺陷的、直徑大於6英寸的藍(lán)寶石襯底材料。

  藍(lán)寶石襯底和固態(tài)照明Rubicon 公司的最大市場是LED襯底產(chǎn)品。LED這種固態(tài)光源可作為顯示器的背光源,以及具有高能效的LED照明。LED背光源市場已具有相當(dāng)規(guī)模,根據(jù)Displaybank 的市場調(diào)查,2012年LED背光源的市場占有率為41%,預(yù)計(jì)到2014年這一數(shù)值將會(huì)達(dá)到95%。

  相比之下,LED的照明應(yīng)用仍處于初期階段,根據(jù)市場調(diào)研公司DisplaySearch的計(jì)算,2010年LED在普通照明領(lǐng)域的總體占有率為1.4%,到2014年這一數(shù)值預(yù)計(jì)將會(huì)達(dá)到9.3%。與此同時(shí),根據(jù)IMS Research公司的估算結(jié)果,2012年整個(gè)LED市場的銷售額接近109億美元,其中照明應(yīng)用領(lǐng)域?yàn)?9億美元。到2015年,該分析報(bào)告指出LED市場的銷售額將會(huì)達(dá)到139億美元,在今後兩年內(nèi)的LED照明市場的銷售額將會(huì)翻倍達(dá)到58億美元。在實(shí)現(xiàn)LED大規(guī)模應(yīng)用的同時(shí),固態(tài)光源系統(tǒng)和元件價(jià)格將會(huì)有大幅度的下降,這將首先從LED器件(其中包含了藍(lán)寶石晶圓襯底和晶片)的價(jià)格下降開始。

  對於LED晶片的制造商來說,削減成本的一個(gè)重要手段就是轉(zhuǎn)向采用更大直徑尺寸的晶圓襯底。根據(jù)2012年美國能源部的分析,襯底晶圓成本約為LED封裝成本的15%,而封裝成本又占據(jù)整個(gè)LED器件成本的相當(dāng)大部分。如果LED晶片制造商轉(zhuǎn)向采用更大直徑尺寸的襯底,它們將會(huì)因節(jié)省了操作流程成本而獲益,而且這一獲益將會(huì)超出由於采用大尺寸襯底所會(huì)增加的成本。具有更低成本的LED將會(huì)推動(dòng)LED照明在商業(yè)和民用住宅領(lǐng)域中的大規(guī)模應(yīng)用。如今,已有超過90%的LED器件是制作在藍(lán)寶石襯底上,也有制作在SiC 或一些其他材料的襯底上,但迄今為止,其他材料很難具有藍(lán)寶石材料在性能和成本上的優(yōu)勢。

  如今,另一種具有相當(dāng)吸引力的是采用矽襯底材料。吸引該方案支持者的因素有:可以采用8英寸晶圓因而能提高工藝加工的操作效率;可以利用當(dāng)前已徹底折舊完畢的CMOS制造設(shè)備。然而,由於矽材料和GaN材料在熱膨脹系數(shù)上具有很大的不匹配性,因此采用矽襯底的優(yōu)勢必須要進(jìn)行重新權(quán)衡。要解決熱不匹配性這一問題,就需要采用一個(gè)高成本、復(fù)雜的緩沖層來避免產(chǎn)生襯底徹底開裂或破損問題。根據(jù)目前的報(bào)道,矽襯底上GaN 的制造良率仍然很低,而且其長期的可靠性仍然未得到驗(yàn)證。因此,在解決這個(gè)技術(shù)障礙之前,矽材料襯底或許還只是一個(gè)小范圍市場的應(yīng)用方案,不能期望用它來替代LED生產(chǎn)目前首選的藍(lán)寶石襯底材料。需要注意的是,襯底選用8英寸直徑還將是一個(gè)重要的考量,我們公司已經(jīng)能進(jìn)行8英寸藍(lán)寶石拋光晶圓片的大批量生產(chǎn)。

  另一種被經(jīng)常提到用來替代藍(lán)寶石襯底的是采用GaN襯底材料。然而,2英寸GaN襯底的成本將會(huì)超過1000美元,是同樣尺寸藍(lán)寶石襯底成本的100倍。如此高的成本是源於其需要一個(gè)極其復(fù)雜的制造工藝,因此就對這種材料的大規(guī)模應(yīng)用產(chǎn)生了障礙。

  基於上述因素,絕大多數(shù)的LED晶片制造商目前正在尋求更大尺寸的藍(lán)寶石襯底晶圓以降低其生產(chǎn)成本。使用更大尺寸的晶圓將使得MOCVD反應(yīng)器具有更高的批次產(chǎn)額,使得反應(yīng)器的「地產(chǎn)」能得到更好地利用,最終將減少單位襯底面積的加工成本。此外,采用大尺寸晶圓可減少晶圓邊緣區(qū)的損耗,還可提高M(jìn)OCVD後續(xù)工藝的加工效率。

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