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電子發燒友網>電子資料下載>模擬數字>掩模曝光劑量的精細控制工藝設計

掩模曝光劑量的精細控制工藝設計

2009-12-21 | rar | 444 | 次下載 | 3積分

資料介紹

掩模曝光劑量的精細控制工藝設計 
胡廣榮 李文石
(蘇州大學 電子信息學院 微電子學系,江蘇 蘇州 215021)
摘要:本文從光學鄰近效應的機理出發, 基于區域劃分掩模特征線條,實施曝光劑量控制,從而達到光學鄰近效應的精細校正。通過模擬測試圖形得到改進后的掩模圖形畸變率,與傳統曝光劑量校正法相比,減少了約4%。
關鍵詞: 光學鄰近效應校正, 特征線條區域劃分, 圖形畸變率
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