基于光學(xué)相控陣?yán)碚摵外仈U(kuò)散鈮酸鋰光波導(dǎo)的導(dǎo)模特性，提出了一種新型陣列集成光波導(dǎo)應(yīng)用于光學(xué)相控。根據(jù)光束傳輸法（BPM），并結(jié)合現(xiàn)有半導(dǎo)體工藝水平及參數(shù)，對該陣列波導(dǎo)的導(dǎo)光特性，損耗特性以及耦合特性進(jìn)行了仿真計(jì)算，最終給出了相控陣的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)參數(shù)。結(jié)果表明，應(yīng)用該集成陣列波導(dǎo)的光學(xué)相控陣結(jié)構(gòu)可實(shí)現(xiàn)光束連續(xù)精確定向偏轉(zhuǎn)，偏轉(zhuǎn)角度可達(dá)依4.5毅，相位控制半波電壓小于 6 V，其系統(tǒng)光學(xué)控制單元損耗低且響應(yīng)速度快。

　　光學(xué)相控陣是基于微波相控陣?yán)碚摪l(fā)展起來的新型光束指向控制技術(shù)遙其核心部件之一是光學(xué)相位控制器件袁近年來被廣泛研究的主要有采用壓電陶瓷型的光纖延遲線［1］堯液晶陣列移相器［2］堯波導(dǎo)型電光移相器［3］等遙 隨著半導(dǎo)體工藝的不斷發(fā)展袁以電光晶體作為相位控制器件日趨成熟袁該器件是利用電光晶體的雙折射效應(yīng)袁通過改變加載在不同單元電壓實(shí)現(xiàn)相位控制袁具有快速堯靈活堯高精度等優(yōu)點(diǎn)［4］袁是當(dāng)前研究的熱點(diǎn)遙 在光學(xué)相控陣中袁通過控制相鄰光束的相位差就可以實(shí)現(xiàn)合成光束定向偏轉(zhuǎn)遙目前袁國內(nèi)外常見的光學(xué)相控陣均基于規(guī)則相控陣?yán)碚撛?而相控陣中單元間距限制了掃描范圍和掃描精度袁為了縮小相控陣單元間距袁基于不同材料和結(jié)構(gòu)的波導(dǎo)型相控陣不斷被提出和證實(shí)［3，5］遙 這種方法雖然有效地提高了占空比袁但是相鄰單元間的串?dāng)_卻影響了掃描精度遙。