邁克耳孫干涉儀白光等傾干涉的實(shí)現(xiàn)、條紋特征及形成機(jī)理是光學(xué)研究中的重要內(nèi)容。以下是對(duì)這些方面的詳細(xì)解釋：

一、邁克耳孫干涉儀白光等傾干涉的實(shí)現(xiàn)

邁克耳孫干涉儀利用分振幅法產(chǎn)生雙光束以實(shí)現(xiàn)干涉。在白光等傾干涉的實(shí)驗(yàn)中，需要在邁克耳孫干涉儀的反射鏡前放置一塊玻璃板，以實(shí)現(xiàn)白光的等傾干涉。這是因?yàn)楦郊拥牟ＡО迨构獬滔嗟葧r(shí)光源經(jīng)兩反射鏡所成的虛像間有了幾何間隔，而且玻璃板的色散使得該等傾條紋的出現(xiàn)范圍可以遠(yuǎn)大于白光等厚干涉。通過(guò)調(diào)整干涉儀，可以觀察到白光等傾干涉的條紋。

二、白光等傾干涉的條紋特征

條紋襯比度：白光等傾干涉的條紋襯比度通常較低，遠(yuǎn)低于白光等厚干涉的條紋襯比度。這是因?yàn)樵诎坠獾葍A干涉中，不同波長(zhǎng)的條紋發(fā)生普遍錯(cuò)級(jí)，使得每個(gè)位置都存在許多不同波長(zhǎng)成分，它們疊加的結(jié)果使得不同位置的顏色都接近于平均顏色，導(dǎo)致襯比度較小。

條紋顏色：白光等傾干涉的條紋顏色比較單一，但也有微弱的顏色變化。這是因?yàn)樵诎坠獾葍A干涉中，不同波長(zhǎng)的條紋錯(cuò)級(jí)使得每個(gè)位置的顏色成分趨于平均，導(dǎo)致顏色單一。然而，由于白光光譜中不同波長(zhǎng)的光具有不同的干涉條紋襯比度，因此在亮紋和暗紋處可能會(huì)觀察到微弱的顏色變化。

條紋出現(xiàn)范圍：白光等傾干涉的條紋出現(xiàn)范圍通常較大，可達(dá)0.15mm以上。這是因?yàn)椴ＡО宓纳⑹沟玫葍A條紋的出現(xiàn)范圍得以擴(kuò)大。

三、白光等傾干涉的形成機(jī)理

白光等傾干涉的形成機(jī)理與光的干涉原理密切相關(guān)。當(dāng)白光經(jīng)過(guò)邁克耳孫干涉儀時(shí)，不同波長(zhǎng)的光會(huì)被分成兩束相干光。這兩束相干光在相遇時(shí)會(huì)發(fā)生干涉現(xiàn)象，形成明暗相間的干涉條紋。由于白光包含多種波長(zhǎng)的光，因此每種波長(zhǎng)的光都會(huì)形成自己的干涉條紋。然而，由于玻璃板的色散作用，不同波長(zhǎng)的條紋會(huì)發(fā)生錯(cuò)級(jí)現(xiàn)象，導(dǎo)致每個(gè)位置都存在多種波長(zhǎng)的成分。這些成分疊加在一起后，就形成了白光等傾干涉的條紋。

此外，白光等傾干涉的條紋特征還受到光源、干涉儀的調(diào)整以及觀察角度等因素的影響。因此，在進(jìn)行白光等傾干涉實(shí)驗(yàn)時(shí)，需要仔細(xì)調(diào)整干涉儀并選擇合適的觀察角度以獲得清晰的干涉條紋。

綜上所述，邁克耳孫干涉儀白光等傾干涉的實(shí)現(xiàn)需要利用附加的玻璃板來(lái)產(chǎn)生幾何間隔并實(shí)現(xiàn)等傾干涉；其條紋特征表現(xiàn)為襯比度較低、顏色單一但具有微弱的顏色變化以及條紋出現(xiàn)范圍較大；其形成機(jī)理與光的干涉原理和玻璃板的色散作用密切相關(guān)。

TopMap Micro View白光干涉3D輪廓儀

一款可以“實(shí)時(shí)”動(dòng)態(tài)/靜態(tài) 微納級(jí)3D輪廓測(cè)量的白光干涉儀

1)一改傳統(tǒng)白光干涉操作復(fù)雜的問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)一鍵智能聚焦掃描，亞納米精度下實(shí)現(xiàn)卓越的重復(fù)性表現(xiàn)。

2)系統(tǒng)集成CST連續(xù)掃描技術(shù)，Z向測(cè)量范圍高達(dá)100mm，不受物鏡放大倍率的影響的高精度垂直分辨率，為復(fù)雜形貌測(cè)量提供全面解決方案。

3）可搭載多普勒激光測(cè)振系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)實(shí)現(xiàn)“動(dòng)態(tài)”3D輪廓測(cè)量。

實(shí)際案例

1，優(yōu)于1nm分辨率，輕松測(cè)量硅片表面粗糙度測(cè)量，Ra=0.7nm

2，毫米級(jí)視野，實(shí)現(xiàn)5nm-有機(jī)油膜厚度掃描

3，卓越的“高深寬比”測(cè)量能力，實(shí)現(xiàn)光刻圖形凹槽深度和開口寬度測(cè)量。