如下圖所示為目前國際上最為主流的IGBT芯片俯視圖和截面示意圖,其中黃色區(qū)域代表型半導(dǎo)體,綠色區(qū)域代表型半導(dǎo)體。
在平面,IGBT可以劃分為元胞區(qū)和終端區(qū)(后面會(huì)詳細(xì)介紹其作用);z方向又可以劃分為芯片正面和芯片背面。
平面內(nèi)可能存在四種類型的PN結(jié),
:處于元胞區(qū),與電極(發(fā)射極)相連;
:處于元胞區(qū),與電極不相連;
:處于元胞區(qū)與終端區(qū)的過渡區(qū);
:處于終端區(qū),與電極不相連。
z方向的背面還有一個(gè)PN結(jié),
:處于芯片背面,與電極(集電極)相連。
在理解IGBT內(nèi)部的若干PN結(jié)如何協(xié)作之前,我們先看單個(gè)PN結(jié)是如何工作的。第二章中,我們闡述了熱平衡狀態(tài)下的PN結(jié)存在一個(gè)內(nèi)部勢壘,阻礙PN結(jié)兩側(cè)的多子(P型中的空穴和N型中的電子)向?qū)Ψ綌U(kuò)散。
顯然,若要促進(jìn)多子能夠進(jìn)一步擴(kuò)散,就必須克服這個(gè)勢壘,所采用的辦法就是在P區(qū)施加一個(gè)正向電壓,以形成一個(gè)與內(nèi)建電場相反方向的電場;反之,若要進(jìn)一步阻礙多子擴(kuò)散,也可以通過在N區(qū)施加一個(gè)正向電壓,從而增加PN結(jié)的內(nèi)部勢壘。這兩個(gè)狀態(tài)分別對(duì)應(yīng)PN結(jié)的導(dǎo)通狀態(tài)和阻斷狀態(tài)。
如下圖所示的一個(gè)PN結(jié),假設(shè)P區(qū)摻雜濃度為,N區(qū)摻雜濃度為。P區(qū)因?yàn)椴糠挚昭〝U(kuò)散到N區(qū)而有部分區(qū)域帶負(fù)電,其寬度用表示;反之N區(qū)因?yàn)椴糠蛛娮訑U(kuò)散到P區(qū)而有部分區(qū)域帶正電,其寬度用表示。
原本都處于電中性的P區(qū)和N區(qū),因?yàn)槎嘧訑U(kuò)散,在相交的PN結(jié)區(qū)域分別有部分空間帶電了,這個(gè)空間被稱為“空間電荷區(qū)”,又被稱為“耗盡區(qū)”,其寬度為: (為depletion的縮寫)。
定義P型半導(dǎo)體所連接電極為陽極,對(duì)應(yīng)的N型半導(dǎo)體所連接電極為陰極。假設(shè)陽極施加的外界電壓為負(fù),那么感生的電場方向由N型指向P型,顯然會(huì)增強(qiáng)PN結(jié)的內(nèi)建電場,使得耗盡區(qū)邊界處的多子在電場作用下漂移至對(duì)面,留下更大的空間電荷區(qū);同時(shí)增大的內(nèi)建電場會(huì)進(jìn)一步阻礙多子擴(kuò)散。這個(gè)過程可以用靜電學(xué)的高斯定律和泊松方程進(jìn)行描述,
其中,表示空間電荷密度,表示介電常數(shù),表示電勢差。兩個(gè)方程的物理意義是:有電荷存在的地方,就會(huì)存在電場,其方向?yàn)檎姾芍赶蜇?fù)電荷;而電場在空間的積分就是電勢。所以,空間電荷區(qū)會(huì)存在N區(qū)(正電)指向P區(qū)(負(fù)電)的電場。因此當(dāng)外加電壓為正,感生與原來向反方向的電場,那么空間電荷區(qū)變窄,內(nèi)建電場減弱,PN結(jié)導(dǎo)通;反之,當(dāng)外加電壓為負(fù),感生與原來相同方向的電場那么空間電荷區(qū)變寬,內(nèi)建電場增強(qiáng),PN結(jié)就可以承受更高的電勢,直到電場峰值材料的臨界擊穿電場。這就是IGBT能承受高電壓的原因。
進(jìn)一步地,根據(jù)高斯定律和泊松方程,電勢的梯度正比于電場強(qiáng)度,而電場的梯度正比于空間電荷區(qū)的濃度。顯然當(dāng)外加電壓為負(fù),空間電荷區(qū)濃度越低,那么電場衰減越慢,相應(yīng)所對(duì)應(yīng)的耗盡區(qū)就越寬,達(dá)到臨界電場強(qiáng)度所對(duì)應(yīng)的絕對(duì)值就越高,也就是可承受電壓越高。這就是為何電壓等級(jí)越高的IGBT,其襯底濃度需要越低的緣故。
下面簡要推導(dǎo)PN結(jié)阻斷狀態(tài)下的峰值電場強(qiáng)度、耗盡區(qū)寬度與摻雜濃度以及外加電壓之間的關(guān)系。
引用高斯定理的積分形式:
即電場沿閉合空間的積分正比于其內(nèi)部電荷之和。
如下圖所示,將閉合四邊形的四邊分別標(biāo)記為,
顯然,1.,因此電場在和方向的積分相互抵消;
- ;
- ;
因此,
所以,
的表達(dá)式中利用了平衡態(tài)下的電中性原理,即,
當(dāng)半導(dǎo)體為均勻摻雜時(shí)(絕大多數(shù)都是這種情況,但也有例外,如經(jīng)擴(kuò)散而形成的高斯分布摻雜,后面講到工藝時(shí)會(huì)進(jìn)一步分析),隨空間線性變化,其在耗盡區(qū)內(nèi)的積分即為PN結(jié)兩側(cè)的電勢差,即
其中, ,內(nèi)建電勢
綜上可以推算出P區(qū)和N區(qū)內(nèi)耗盡區(qū)的寬度分別為:
當(dāng)半導(dǎo)體為非均勻摻雜時(shí),推算過程相同,但稍微繁雜一些。
舉例:以Si為例,假設(shè)P型摻雜濃度為,N型摻雜濃度為,,,,計(jì)算的耗盡區(qū)寬度變化趨勢。 相對(duì)的絕對(duì)值是個(gè)小量,計(jì)算過程中可以忽略掉,或者以0.7V替換。
計(jì)算結(jié)果如下圖所示。
可以看出,承受1200V的電壓,大約需要140的厚度。
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