該設備用途：硅片在加工運輸過程中，需要將硅片從一個花籃內，傳送到另一個花籃內，提高導片效率，同時減少人為污染。

我們華林科納研發的全自動晶舟轉換器，它是一款用于調整集成電路產線上晶圓生產材料序列位置的一款設備，主要工作任務就是對芯片生產線上的晶圓整個制造過程中，對晶圓分批、合并、翻轉后進行下一道程序，而轉換器就是將已經完成一道工序后的晶圓，通過分類、合并等后，再送到下一道工序中去，通俗點講就是它就像是一條分揀傳送的紐帶，用于提高整個芯片生產線的效率。

因為晶圓非常的脆弱，所以合并，轉移過程中，要注意晶圓的完整性，且必須要保持極高的潔凈度，避免在晶圓傳輸過程中因為摩擦等，讓晶圓表面出現磨損。

設備組成有降臺和污物吹除機構，輸送臺底部設有花籃一升降臺和花籃二升降臺，花籃一升降臺的移動端上設有花籃一，花籃二升降臺的移動端上設有花籃二，花籃一和花籃二分別位于輸送臺兩端，輸送臺的臺體一端開設有用于穿過花籃一的穿槽。本設備通過花籃一升降臺驅使花籃一進行升降，從而可以配合輸送臺，將花籃一內的硅片導出。通過花籃二升降臺驅使花籃二進行升降，從而可以配合輸送臺，將輸送過來的硅片全部裝載到花籃二內。通過污物吹除機構來清除傳送中的硅片正反兩面的污物。

設備特征在于：包括平臺、固定架、分體式推桿和推動裝置；平臺包括初始晶舟放置區和目的晶舟放置區；
固定架固定在初始晶舟放置區遠離目的晶舟放置區的一端，分體式推桿頂部與固定架頂部可拆卸式連接，分體式推桿底部可拆卸式連接在推動裝置的一端，推動裝置另一端固定在平臺上；
分體式推桿由多個推桿模塊可拆卸式連接組成，最底層的推桿模塊和最頂層的推桿模塊分別與推動裝置和固定架可拆卸式連接，推動裝置能夠致使推桿模塊將晶圓由初始晶舟放置區推送至目的晶舟放置區。

該設備可適用于：

----可應用于156.75*156.75、160.75*160.75、162*162、166*166硅片.

----25、50、100、120片花籃規格可選.

----雙軌道傳輸設計,獨立運行，互不干涉.

----25花籃導入至50片花籃；25片花籃導入至100片花籃；50片花籃導入至100片花籃； 100片花籃導入100片花籃; 120片花籃導入100片花籃;

----兼容型：機械結構設計具有兼容性,單側可以使用不同種類的花籃規格。例如:左側機械機構同時兼容25片及100片花籃,右側同時兼容50片花籃及100片花籃.

----采用PLC控制,取片/ 插片過程全自動；觸摸屏菜單操作,簡潔明了.

----可選碎片檢測功能、幾何尺寸檢測.

----可選支持MES接口和遠程診斷功能.

----可選匹配智能工廠AGV接駁口.

為更好的服務客戶，我們華林科納特別成立了監理團隊，團隊成員擁有多年半導體行業項目實施、監督、控制、檢查經驗，可對項目建設全過程或分階段進行專業化管理與服務，實現高質量監理，降本增效。利用仿真技術可對未來可能發生的情況進行系統的、科學的、合理的推算，有效避免造成人力、物力的浪費，助科研人員和技術工作者做出正確的決策，助力工程師應對物理機械設計和耐受性制造中遇到的難題。

審核編輯 黃宇