都說晶圓清洗機是用于晶圓清洗的，既然說是全自動的。我們更加好奇的點一定是如何自動實現晶圓清洗呢？效果怎么樣呢？好多疑問。我們先來給大家介紹這個根本問題，就是全自動晶圓清洗機的工作是如何實現的。

全自動晶圓清洗機工作流程一覽

裝載晶圓：將待清洗的晶圓放入專用的籃筐或托盤中，然后由機械手自動送入清洗槽。

清洗過程：

晶圓依次經過多個清洗槽，每個槽內有不同的清洗液和處理步驟，如預洗、主洗、漂洗等。

清洗過程中可能使用多種輔助手段以提高清洗效果，如超聲波、旋轉、抖動等。

超聲波清洗利用超聲波的空化效應產生微小氣泡，氣泡破裂時的沖擊力可以去除晶圓表面的污染物。

化學清洗使用特定的化學溶液通過化學反應去除晶圓表面的有機物和無機物。

噴淋清洗通過高壓噴淋將清洗液均勻噴灑到晶圓表面，進一步去除污染物。

干燥過程：

清洗完成后，晶圓被送入送風系統，通過吹風或烘干的方式去除表面的水分。

卸載晶圓：

干燥后的晶圓由機械手自動取出，放置在指定位置。

審核編輯 黃宇