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IBM的2nm工藝是一個怎樣的技術

獨愛72H ? 來源:雷科技、與非網 ? 作者:雷科技、與非網 ? 2022-06-28 15:44 ? 次閱讀

IBM宣布了一條可以轟炸整個科技圈的消息,成功研發出了全球首款2nm EUV工藝的半導體芯片。IBM表示,與臺積電的5nm相比,2nm芯片的晶體管密度幾乎是前者的兩倍,達到了333.33 MTr/mm2,即每平方毫米可容納3.3億個晶體管。

IBM的2nm工藝是什么技術?

5nm工藝推出之前,業界采用的是FinFET(鰭式場效應晶體管)結構,與傳統晶體管結構,只能在閘門一側控制電路連通與斷開不同,FinFET晶體管結構中的閘門類似魚鰭的叉狀,可以控制閘門兩側電路的連通和斷開,進一步減少了漏電的幾率,同時,大幅縮短了晶體管的柵長。講得通俗易懂點,就是傳統的FET(場效應管)屬于平面架構,只能控制一側的電路,而FinFET則是3D立體架構,可以同時控制兩側電路。

當工藝演進到5nm后,FinFET結構已經無法滿足晶體管所需的靜電控制,會出現嚴重的漏電問題。為此,三星率先采用了GAA(環繞式柵極)的晶體管結構,并對3nm制程工藝的芯片進行研發。不湊巧的是,IBM的2nm制程工藝也是同樣的GAA結構。不過,GAA晶體管結構又可分為納米線結構GAAFET和納米片結構MBCFET,而IBM采用的是納米片結構。

與納米線結構相比,納米片結構的接觸面積更大,但不利于片與片之間的刻蝕(通過化學或物理的方法去除硅片表面不需要的部分)和薄膜生長(集成電路在制造過程中需要在晶圓片表面生長數層材質不同、厚度不同的薄膜)。

需要注意的是,IBM的2nm已不再是指柵極長度(MOS管的最小溝道長度),而是等效成了芯片上晶體管節點密度。因此,這里的2nm只是一個命名代號,而非物理上的2nm。

本文整合自:雷科技、與非網

責任編輯:符乾江

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