像小說《科學怪人》中弗蘭肯斯坦的 “怪物” 蘇醒過來一樣，在一塊計算機芯片大小的硅晶圓片上并排放置的數萬個微型機器人，只需要照射一束激光，它們就可以掙脫束縛、自由爬動......

盡管這樣的場景聽起來非常科幻，但如今微型機器人 “大軍” 確實來了！

“我們能為你最喜歡的硅電子器件安上雙腿，然后制造一百萬個這樣的器件，這是我們的愿景。”美國賓夕法尼亞大學電氣與系統工程教授馬克·米斯金（Marc Miskin）說。

米斯金說的 “器件” 正是腿長不足 0.1 毫米（約為一根人類頭發的直徑）的機器人。據米斯金此前表示，這些 “帶有雙腿” 的微型機器人可用于修復手機電池，甚至探索人類大腦信號。而且由于可以通過皮下注射進入人體，微型機器人在生命科學領域的更多應用也值得期待。

米斯金及其團隊成功研發出可行走的微型機器人 “大軍”，得益于一類與現有硅電子器件兼容的新型致動器（使機器人移動的部件）的發展。相關研究成果于 8 月 26 日發表在《自然》雜志（Nature）上。

（來源：Nature）

近年來，將電子器件微型化以生產細胞大小的機器人一直是人們追求的目標，得益于電子、磁性和光學系統的技術突破，單單研發一種小體積、低成本、低功耗的機器人并不難，但由于缺乏合適的微米級致動器系統，無法與當前的半導體工藝無縫集成，且無法正常響應標準電子控制信號，這一領域的發展一直受到限制。

“借助現有技術制造 100 微米大小的硅芯片并不是什么難事，我們要做的是，研發機械臂和致動器的外骨骼。” 美國康奈爾大學物理學家保羅·麥克尤恩（Paul McEuen）說。

在最新研究中，米斯金及其同事展示了一類新型電化學致動器，克服了這一技術問題。這些致動器構成了機器人的雙腿，其尺寸小于 0.1 毫米，當受到激光刺激時，就會彎曲，產生行走動作。研究人員在一塊 4 英寸大小的硅片上制造了超過 100 萬個行走機器人，這些機器人由板載硅太陽能電池驅動。

視頻 | 轉圈的微型機器人

早在麥克尤恩實驗室工作期間，米斯金就開發了一種將鉑、鈦層放在硅晶圓片的技術：當施加電壓時，鉑收縮而鈦保持剛性，平坦的表面彎曲，彎曲的表面產生驅動機器人四肢向前移動的動力。

但這個想法在當時并不新鮮。幾十年來，加州大學伯克利分校的克里斯·皮斯特（Kris Pister）等研究人員一直在談論 “智能塵埃”——一種可以報告環境狀況的微型傳感器。但在開發實用版本時，為適應電池需求，“智能塵埃” 變得更大，更像 “智能砂礫”。

米斯金想辦法擺脫了電池的束縛，他通過向機器人背上的微型太陽能電池板照射激光，來為它們提供能量。

“我認為這真的很酷，” 皮斯特在談到米斯金、麥克尤恩的工作時稱贊道，“他們制造了一個可以通過照射光線來控制的微型機器人，這可能會有各種有趣的應用。”

米斯金表示，這些機器人也很堅固，可以在高酸性環境和超過 200 開爾文的溫度變化中生存下來，并且可以通過皮下針頭注射，為探索生物環境內的應用帶來了可能。

盡管這些機器人的功能目前有限，比其他游泳機器人慢，也不能感知環境，而且缺乏綜合控制，但米斯金認為，與現有硅技術的良好兼容性或有助于未來更多功能的開發，他希望未來幾年可以向人們展示更加實用的微型機器人。

最后，附上米斯金和麥克尤恩去年在 TED 的演講分享。

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