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索尼宣布將發(fā)布兩款用于工業(yè)設(shè)備的新型短波紅外圖像傳感器

MEMS ? 來(lái)源:MEMS ? 2020-06-01 17:02 ? 次閱讀

據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,近日,索尼(Sony)宣布將發(fā)布兩款用于工業(yè)設(shè)備的新型短波紅外(SWIR)圖像傳感器:IMX990和IMX991。該新型傳感器能捕獲在可見(jiàn)光和不可見(jiàn)光光譜中的圖像,采用業(yè)界最小的5μm像素,尺寸緊湊。

新產(chǎn)品采用了索尼獨(dú)創(chuàng)的SenSWIR技術(shù),在銦鎵砷(InGaAs)化合層上形成光電二極管,并通過(guò)銅-銅(Cu-Cu)連接硅(Si)層的讀出電路。

SWIR圖像傳感器能夠感應(yīng)到人眼看不見(jiàn)的波長(zhǎng),支持不同應(yīng)用領(lǐng)域的相機(jī)和測(cè)試設(shè)備開(kāi)發(fā),有助于工業(yè)設(shè)備的多樣化發(fā)展。

SWIR圖像傳感器:IMX990
左圖左側(cè):陶瓷LGA封裝;左圖右側(cè):內(nèi)置熱電裝置的陶瓷PGA封裝。右圖:索尼SenSWIR技術(shù)Logo

使用傳統(tǒng)的凸塊(bump)連接,將接收光源的光電二極管InGaAs層與輸出電路的Si層進(jìn)行鍵合時(shí),必須確保一定的凸塊間距,要實(shí)現(xiàn)比現(xiàn)有CMOS圖像傳感器更小的像素尺寸幾乎不可能,因此實(shí)現(xiàn)傳感器微型化困難重重。然而,采用Cu-Cu連接,使得索尼新產(chǎn)品擁有更小的像素間距,即業(yè)界最小的5μm像素。從而在保持SXGA(IMX990)、VGA(IMX991)分辨率的同時(shí)減小相機(jī)尺寸變成可能,且有助于提高測(cè)試精度。

左圖:凸塊連接;右圖:Cu-Cu連接


索尼獨(dú)創(chuàng)的SWIR圖像傳感器技術(shù)讓頂層磷化銦(InP)層能吸收四倍的可見(jiàn)光,厚度更薄,因此可以將光傳輸?shù)絀nGaAs層之下,即使在可見(jiàn)光范圍內(nèi)量子效率也非常高。這種設(shè)計(jì)可以在0.4μm~1.7μm較寬的波長(zhǎng)范圍內(nèi)成像,從而實(shí)現(xiàn)單個(gè)攝像頭代替?zhèn)鹘y(tǒng)的多攝像頭,同時(shí)完成可見(jiàn)光和短波紅外光的捕獲。

SWIR圖像傳感器技術(shù)的波長(zhǎng)(X軸)和量子效率(Y軸)關(guān)系示意圖

成像樣品1

切換光源可以同時(shí)獲取蘋(píng)果的表面信息和果肉信息
(左圖:可見(jiàn)光圖像;右圖:SWIR圖像)


成像樣品2

利用短波長(zhǎng)紅外光吸收率的差異進(jìn)行材料分類
(左圖:可見(jiàn)光圖像;右圖:SWIR圖像)


傳統(tǒng)SWIR圖像傳感器通常具有模擬信號(hào)輸出功能,但新產(chǎn)品支持?jǐn)?shù)字輸出,可提供與當(dāng)前工業(yè)CMOS圖像傳感器相同的性能。雖然模擬輸出傳感器需要相機(jī)的數(shù)字轉(zhuǎn)換電路或其他功能,但是新產(chǎn)品自帶此功能,從而減少了相機(jī)開(kāi)發(fā)的步驟,并使多功能相機(jī)的開(kāi)發(fā)更加容易。

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原文標(biāo)題:索尼發(fā)布面向工業(yè)應(yīng)用的可量產(chǎn)SWIR圖像傳感器

文章出處:【微信號(hào):MEMSensor,微信公眾號(hào):MEMS】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明出處。

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