近日，福建安芯半導體科技有限公司時隔1個月，再次出貨一臺價值近千萬元的光刻機，現已交付國內某研究所用于cmos領域研究。

據中國芯谷報道，通過四天左右的恒溫氣墊車長途運輸，光刻機設備順利從園區運抵國內某研究所，為該研究所在cmos領域研發提供了重要支撐。此外，雙方將就半導體領域研發進行深入對接，共同推動產業發展。

今年3月13日，福建安芯半導體一臺值近千萬元的光刻機出貨，交付杭州海康威視公司用于生產耳溫槍。據泉州網報道，當時福建安芯半導體總經理張琪表示，目前我們尚不能完全自主研發，但通過改造、提升，實現了60%至70%的國產化。

據了解，光刻機分為接觸式、接近式、步進式。目前國內使用較多的為步進式光刻機。光刻機是生產大規模集成電路的核心設備，制造和維護需要高度的光學和電子工業基礎，世界上只有少數廠家掌握，如ASML、尼康、佳能。因此光刻機價格昂貴。

福建安芯半導體科技有限公司通過設對步進式光刻機設備翻新、改造和安裝調試多年的經驗累積，積淀光刻機設備研發技術，進行光刻機主要零部件自主研發替代，推動半導體設備國產化，讓我們一起關注并支持國產化企業發展。

資料顯示，福建安芯半導體是泉州芯谷南安分園區引進的首家高科技半導體設備公司，主要經營黃光設備設備翻新、改造和安裝調試，自主研發新黃光和蝕刻設備的銷售及技術支持，并提供半導體整線解決方案，產品涉獵集成電路、LED、MEMS、顯示面板、光伏等黃光設備領域。除了向客戶提供半導體生產線設備總體解決方案的同時，也向客戶提供先進半導體器件的設計、制造等技術咨詢。
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