（文章來源：LeoGo科技）
我們應該知道中國激光技術在全球領先，甚至排在第一位。1964年，錢學森院士提議取名為“激光”，從1961年中國第一臺激光器到世界上第一所激光技術的專業研究所——中國科學院上海光學精密機械研究所的成立，而且在ICF激光驅動器、高功率化學激光器、半導體泵浦的固體激光器、超短超強激光器等等各方面都有進步，可以說我國的激光事業一直在不斷進步。

可是激光≠光刻機技術，我們知道光刻機技術所需要的是——需要最精密的技術。包括德國機械工藝、蔡司鏡頭和美國公司提供的光源。涉及多個學科，包含了系統集成、精密光學、精密運動、精密物料傳輸、高精度微環境控制等多項先進技術。

光刻工藝的具體步驟繁瑣，需要通過硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對準曝光、后烘、顯影、硬烘、刻蝕等工序，不是簡單的激光就能解決的?！袄铩保瑢嶋H上ASML能夠成功，是因為將三星、臺積電、英特爾等等共同拉入ASML 公司。

為了解決激光，ASML 收購了全球領先的準分子激光器供應商 Cymer，為了解決光刻系統，以 10 億歐元現金入股光學系統供應商卡爾蔡司。

可以說，ASML的成功不是一蹴而就的，激光≠光刻機。我們的制約因素，不僅僅技術。其實，影響我們的不僅僅是技術，還有技術壁壘。從《瓦森納協議》中的影響，讓我們不得不受限于技術的“限制”。很多時候不是我們不想發展，而是很多技術它是不能夠進來的，在這種情況下，我們的光刻機的發展受到了非常大的限制。

在技術趕不上，又被封鎖的情況下，我們確實會在光刻機方面有所欠缺。當然，我們也期盼能夠在各種技術的合力下，擺脫限制，得到發展，走出一條打破光刻機技術之路。
（責任編輯：fqj）