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非晶硅的制備

2010年07月18日 11:23 m.1cnz.cn 作者:本站 用戶評論(0
關(guān)鍵字:晶硅(22710)

1)等離子化學氣相沉積法
?????? 該法主要是采用H2稀釋的硅烷氣體的熱分解,硅烷分解生成硅原子,
沉積在襯底材料上形成非晶硅薄膜。

太陽能電池的制備

硅片切割-- 去除損傷層--制絨-擴散-刻蝕
-PECVD沉積減反射層 -絲網(wǎng)印刷上下電極
-燒結(jié)形成金屬接觸-分類檢測-包裝

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