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標(biāo)簽 > 濾波系統(tǒng)
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如何獲得高純度的EUV光源?EUVL光源濾波系統(tǒng)的主流技術(shù)方案分析
目前,商用EUV光刻機(jī)采用激光等離子體型-極紫外(LPP-EUV)光源系統(tǒng),主要由驅(qū)動激光器、液滴錫靶、收集鏡組成。
2024-02-21 標(biāo)簽:激光器濾波系統(tǒng)EUV光刻機(jī) 1294 0
基于波形域的匹配濾波前抗間歇采樣轉(zhuǎn)發(fā)干擾方法
基于DRFM系統(tǒng)的間歇采樣轉(zhuǎn)發(fā)干擾(Interrupted Sampling Repeater Jamming, ISRJ)轉(zhuǎn)發(fā)時延僅有納秒級,干擾不需...
信號濾波在PLC控制系統(tǒng)的使用 軋線張力控制的實現(xiàn)方法
本文介紹一套用于軋線 PLC 控制的模擬量信號采樣、濾波的方法。實現(xiàn)了自由靈活的信號處理。信號穩(wěn)定性、可靠性均較濾波前有較大的改善。在軋線張力控制環(huán)節(jié)中...
2018-09-07 標(biāo)簽:PLC控制系統(tǒng)濾波系統(tǒng)信號濾波 3851 0
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