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發(fā)視頻應(yīng)用再流動現(xiàn)象于自動組裝之3D光學(xué)微機(jī)電結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與測試
2010-09-08 |
rar |
3021 |
次下載 |
3積分
資料介紹
本論文之目的在於BCB光阻材料以不同
的製程參數(shù)於再流動的結(jié)果加以探討之外，並
將其再流動之特性應(yīng)用於三維光學(xué)鏡片的自
動組裝過程。本文採用SOI晶片來避免繁雜的
面加工製程，並用DRIE蝕刻機(jī)器來蝕刻出所要
的結(jié)構(gòu)圖案，並將光阻材料鋪在結(jié)構(gòu)相關(guān)位置
來當(dāng)作絞鍊，再經(jīng)由結(jié)構(gòu)分離與光阻再流動等
步驟後即完成三維光學(xué)鏡片自動組裝的製
作。此外，亦設(shè)計(jì)將三維光學(xué)鏡片與致動器整
合，擬製作出可旋轉(zhuǎn)式的三維自動組裝之微光
學(xué)鏡片。
的製程參數(shù)於再流動的結(jié)果加以探討之外，並
將其再流動之特性應(yīng)用於三維光學(xué)鏡片的自
動組裝過程。本文採用SOI晶片來避免繁雜的
面加工製程，並用DRIE蝕刻機(jī)器來蝕刻出所要
的結(jié)構(gòu)圖案，並將光阻材料鋪在結(jié)構(gòu)相關(guān)位置
來當(dāng)作絞鍊，再經(jīng)由結(jié)構(gòu)分離與光阻再流動等
步驟後即完成三維光學(xué)鏡片自動組裝的製
作。此外，亦設(shè)計(jì)將三維光學(xué)鏡片與致動器整
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