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半導(dǎo)體芯片電路線寬顯微測量精度分析

2009-09-09 | rar | 132 | 次下載 | 2積分

資料介紹

?????????在顯微圖像的尺寸測量中,由于各種因素的影響,測量結(jié)果不可避免地存在著誤差。為了充分認(rèn)識并進(jìn)而減小這些誤差,提高測量精度,文章對標(biāo)準(zhǔn)件標(biāo)定、顯微光學(xué)系統(tǒng)的景深、對焦、光照亮度以及溫度等影響測量結(jié)果的誤差源作了細(xì)致的研究,給出了半導(dǎo)體芯片電路線寬顯微測量結(jié)果及精度分析。
關(guān)鍵詞:半導(dǎo)體芯片,顯微測量,精度分析
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