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電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>嵌入式技術論文>實現256MB超大規模集成電路的關鍵工藝-RVD法

實現256MB超大規模集成電路的關鍵工藝-RVD法

2010-05-30 | rar | 102 | 次下載 | 5積分

資料介紹

日本日立制作所的中央研究所與日本法政大學工學部最近聯臺開發成功一項制作厚度為50Mn以下的雜質引入層(PN結臺)的新工藝,這是實現256MB以上的超細微大規模集成電路必不可缺的關鍵技術。目前已確認用該工藝研制成功的元件具有良好的電氣特性,無電流漏泄現象。而用傳統的離子注入法則難以生產出如此高濃度的淺層結合,故可以說該工藝的間世對實現下一代新元件具有重要的意義。
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