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3D封裝與硅通孔(TSV)工藝技術(shù)

2011-12-07 | pdf | 329 KB | 次下載 | 免費

資料介紹

對3D封裝技術(shù)結(jié)構(gòu)特點、主流多層基板技術(shù)分類及其常見鍵合技術(shù)的發(fā)展作了論述,對過去幾年國際上硅通孔( TSV)技術(shù)發(fā)展動態(tài)給與了重點的關(guān)注。尤其就硅通孔關(guān)鍵工藝技術(shù)如硅片減薄技術(shù)、通孔制造技術(shù)和鍵合技術(shù)等做了較詳細介紹。同時展望了在強大需求牽引下2015年前后國際硅通孔技術(shù)進步的藍圖。

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