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電子發燒友網>電子資料下載>電子資料>激光干涉儀SJ6000應用拓展:透鏡曲率半徑測量

激光干涉儀SJ6000應用拓展:透鏡曲率半徑測量

2024-04-28 | docx | 1.02 MB | 次下載 | 免費

資料介紹

透鏡是由透明物質(如玻璃、水晶等)制成的一種光學元件,廣泛應用于安防、車載、數碼相機、激光、光學儀器等各個領域。

曲率半徑是透鏡設計與制造的一個重要參數,在生產制造過程中常使用菲索型激光干涉儀通過測試干涉條紋,判定“貓眼”和共焦位置,并通過光柵尺或激光干涉(測距)儀,對位移變化記錄即可獲得透鏡的曲率半徑。

 

菲索型激光干涉儀測量透鏡曲率半徑的原理:

曲率半徑等于,“貓眼”至共焦位置(或者共焦至“貓眼”位置)的位移,加上干涉儀在兩個位置,根據干涉條紋測得精確位置補償,即R(曲率半徑)=Z(位移讀數)+Z(貓眼位置補償)+Z(共焦位置補償)。

注:當球面標準鏡產生的激光波前,正好匯聚于球面上時,會產生特殊類似“貓眼”的條紋,所以稱這一位置為“貓眼”位置。

在實際測量過程中,傳統方法使用光柵尺來記錄位移變化,光柵尺的位移分辨率為0.1um,曲率半徑測量精度不高。

如今越來越多透鏡生產企業使用SJ6000激光干涉儀來測量位移。SJ6000激光干涉儀以氦氖激光器為光源發射出穩定頻率的波長為長度基準,激光穩頻精度0.05ppm;以邁克爾遜干涉原理測量位移距離,測量分辨率1nm,遠遠高于光柵尺分辨率。

菲索型激光干涉儀測量曲率半徑過程中,SJ6000激光干涉儀反射鏡安裝在穩定夾具上,高度與光源圓心等高,精準記錄位移數據同時降低阿貝誤差,測得的曲率半徑值準確度和一致性大幅提升。

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