資料介紹
摘要: 為提升高壓 IGBT 的抗短路能力,進一步改善短路與通態壓降的矛盾關系,研究了 IGBT 背面工藝對抗短路能力的影響。通過 TCAD 仿真,在 IGBT 處于負載短路工作期間,針對場 終止 ( FS) 層 n 型注入劑量和集電區硼注入劑量對 IGBT 芯片內部熱點位置變化的影響進行了研 究。仿真結果表明,提高 FS 層 n 型注入劑量可將熱點由元胞溝道轉移到 FS /n- 結附近,有利于 IGBT 抗短路能力的提升; 通過對 FS 層和集電區注入劑量的優化,通態壓降在常溫和高溫下的差 值進一步減小,有利于芯片并聯應用。開發 3 300 V/62. 5 A IGBT 芯片,并封裝成 1 500 A 電流 規格成品,其通態壓降為 2. 43 V,常溫和高溫下的通態壓降差值降低 0. 11 V,通過了 20 V 柵壓 13 kA ( 8. 7 倍額定電流) 的短路電流和 3 000 A 大電流關斷能力的測試。
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