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半導(dǎo)體材料石墨烯和SiC與GaN的詳細(xì)介紹

2020-10-14 | pdf | 0.25 MB | 次下載 | 1積分

資料介紹

十年前,我剛畢業(yè)進(jìn)入方正,當(dāng)年我們的定位是SiGe,工號(hào)100以內(nèi)的人曾經(jīng)的郵箱后綴都是@sige.cn,好高大上,雖然后來還是順應(yīng)潮流走了Si工藝(現(xiàn)在已是6寸的佼佼者)。實(shí)際上SiGe只是實(shí)驗(yàn)室里的花瓶,雖然不如他但是卻很成熟的有GaAs,比它牛的材料有SiC,所以注定了SiGe不會(huì)商業(yè)化,我在學(xué)校的時(shí)候也只是看到24研究所有研究過。好吧,再回來聊我們的半導(dǎo)體材料,世界上最早的半導(dǎo)體材料是Ge,后來才是Si,主要是便宜因?yàn)樵牧鲜巧匙尤≈唤哂弥槐M,所以硅/Si一直統(tǒng)治了半導(dǎo)體領(lǐng)域大半個(gè)世紀(jì)。但是隨著摩爾定律的驅(qū)策,我們已經(jīng)走到了原子級(jí)導(dǎo)致了很多擊穿以及漏電等技術(shù)難題,所以到了10nm以下將迎來Si時(shí)代的終結(jié),至于是不是IBM研發(fā)的石墨烯7nm晶體管我們還是期待吧,說不定我們tsmc能夠延續(xù)Si-7nm呢。在講新材料之前我們還是把理論鋪墊一下,不然后面講解就純屬無稽之談了。半導(dǎo)體材料的選擇無非就是兩個(gè)因素:一是載流子遷移率μ(Carrier Mobility),二是禁帶寬度Eg (臺(tái)灣稱“帶隙”, Forbidden band)。而遷移率與電場(chǎng)、載流子質(zhì)量、材料晶格密度(碰撞散射)相關(guān),這個(gè)沒什么理論,但是禁帶寬度就要好好講講了,教科書里的理論是價(jià)帶低與導(dǎo)帶頂之間就是禁帶,而禁帶寬度越小則電子容易從價(jià)帶躍遷到導(dǎo)帶形成自由電子-空穴對(duì)(Electron-Hole pair)參與導(dǎo)電,當(dāng)然這也就是我們講的雪崩擊穿或漏電的產(chǎn)生機(jī)理。

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