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      電子發燒友網>電子資料下載>模擬數字>基于判別核主元空間k近鄰的批次過程監視

      基于判別核主元空間k近鄰的批次過程監視

      2019-01-22 | rar | 0.95 MB | 次下載 | 免費

      資料介紹

      　　針對批次過程非線性、多模態等特征，提出一種基于判別核主元K近鄰（Dis-kPCkNN）的故障檢測方法。首先，在核主元分析（ kPCA）中，高斯核的窗寬參數依據樣本類別標簽在類內窗寬和類間窗寬中判別選取，使得核矩陣能有效提取數據的關聯特征，保持數據的類別信息；其次，在核主元空間中引用K近鄰規則代替傳統的T2統計方法，后近鄰規則可以有效處理主元空間非線性和多模態等特征的故障檢測問題。數值模擬實例和半導體蝕刻工藝過程仿真實驗表明：基于判別核主元K近鄰方法可以有效地處理具有非線性和多模態結構特征的故障檢測問題，提高計算的效率，減少內存的占用，并且故障檢測率明顯優于傳統方法。

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