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微位移驅(qū)動器是一種能產(chǎn)生微米、亞微米甚至納米級位移的裝置，它在精密加工與測量中得到廣泛的應(yīng)用。目前國內(nèi)外研究比較深入的微位移驅(qū)動器按其工作原理有壓電陶瓷、液壓驅(qū)動等類型。隨著新型氣動執(zhí)行元件的開發(fā)和現(xiàn)代控制理論的導人，氣動控制系統(tǒng)的控制性能得到了極大提高，使過去人們一直認為的氣動控制系統(tǒng)只能用于氣缸行程兩端控制，難于滿足對位置或力進行連續(xù)可調(diào)的高精度控制要求這一觀念徹底改變。氣動式微驅(qū)動器，相對于現(xiàn)有的機械式、壓電陶瓷式、液壓式微驅(qū)動器心，具有動作迅速、平穩(wěn)、可靠、結(jié)構(gòu)簡單、節(jié)能、工作壽命長的特點，還有易于控制、易維護、無環(huán)境污染等優(yōu)點。
本研究采用理論分析、有限元仿真和實驗等方法對此微位移驅(qū)動器進行了結(jié)構(gòu)設(shè)計并對其剛度、線性度、互耦性等性能進行了分析，驗證其作為微驅(qū)動器的優(yōu)勢。
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