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電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>傳感與控制>簡述MEMS耐高溫壓力傳感器封裝工藝研究

簡述MEMS耐高溫壓力傳感器封裝工藝研究

2014-09-01 | pdf | 278KB | 次下載 | 5積分

資料介紹

為解決特種壓力傳感器結(jié)構(gòu)的封裝難題,提出了三種能夠適用于200℃高溫條件下的先進封裝技術(shù)。通過有限元模擬,確定了采用低溫玻璃鍵合技術(shù)對多種壓力傳感器進行封裝,分析得出了適合的中間鍵合層厚度。選定了高強度低膨脹基底合金材料,制定了低溫玻璃鍵合的工藝流程,采用先進的絲網(wǎng)印刷工藝確保中間鍵合層厚度。實驗表明經(jīng)過該工藝封裝的壓力傳感器在高溫下具有可靠的性能,能滿足現(xiàn)代工業(yè)測量需求。
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