電子發燒友App
創作
發文章
發帖 
提問 
發資料
發視頻資料介紹
硅壓力傳感器是利用半導體硅的壓阻效應制成， 其品質的優劣主要決定于敏感結構的設計與制作工藝。 文章從硅壓力傳感器敏感薄膜的選擇、敏感電阻條的確定以及敏感電阻位置的選取， 設計了一種方案并進行了實驗驗證， 得出所設計的壓力傳感器精度達到 0.1% ～0.25%F.S.
微機電系統（MEMS） 制作的硅壓力傳感器具有質量輕， 體積小， 成本低， 響應快， 輸出大， 結構簡單等優點， 主要是利用了半導體硅的壓阻效應原理。 采用MEMS 技術在單晶硅片上的特定晶向， 用擴散或離子注入等集成電路工藝制成敏感電阻條， 將四個壓敏電阻條構成惠斯頓全橋檢測電路， 同時利用刻蝕等立體集成電路工藝制造出敏感薄膜。 在此類器件中敏感薄膜與壓敏電阻條的設計， 對傳感器靈敏度輸出、線性、溫漂、時漂等性能有著非常重要的影響。 本文通過對方形、矩形和圓形膜片的最大應力、撓度以及膜片長寬比對輸出地影響選擇方形敏感薄膜; 對于壓敏電阻條的設計主要從摻雜類型， 摻雜濃度， 節深及壓敏電阻的最大功率確定其長度、寬度、折數; 從壓敏電阻靈敏度與應力大小的關系確定了敏感薄膜上的位置為重點， 闡述了半導體硅壓阻式傳感器敏感結構的設計要點.
下載該資料的人也在下載
下載該資料的人還在閱讀
更多 >
- MEMS_SOI高溫壓力傳感器芯片 郭玉剛 13次下載
- 電容壓力傳感器規格書
- ACS壓力傳感器
- 基于支持向量機的壓力傳感器校正模型 9次下載
- 智能壓力傳感器的特點和功能 84次下載
- 分享壓力傳感器的行業應用 39次下載
- 智能壓力傳感器的特點和功能詳細介紹 0次下載
- 智能壓力傳感器的特點和功能詳細介紹 10次下載
- 壓力傳感器特性及其應用設計 31次下載
- MEMS壓力傳感器相關基礎及應用 120次下載
- 壓力傳感器工作原理免費下載 61次下載
- 如何實現壓阻式壓力傳感器溫度的補償方法 49次下載
- 壓力傳感器的特點與應用全解析 9次下載
- 基于SMI MEMS壓力傳感器解決方案及應用 14次下載
- 壓力傳感器及誤差補償
- Qorvo的MEMS壓力傳感器如何消除機械按鈕 537次閱讀
- 壓力傳感器原理及應用 壓力傳感器容易壞的原因 1116次閱讀
- 如何在導航儀中利用MEMS壓力傳感器輔助GPS接收器測量海拔高度 2305次閱讀
- 壓力傳感器有哪幾種_壓力傳感器參數 2.5w次閱讀
- 壓力傳感器在醫療行業的應用與光纖壓力傳感器的介紹 4788次閱讀
- 分析壓力傳感器原理結構 7085次閱讀
- 一文詳解MEMS壓力傳感器原理及與IC的異同 3.5w次閱讀
- 高溫壓力傳感器器件的基本組成和應用 2694次閱讀
- 壓力傳感器的主要作用及原理 1.8w次閱讀
- 壓力傳感器測試方法_壓力傳感器的測量原理_壓力傳感器種類 3.3w次閱讀
- 常用壓力傳感器型號有哪些_壓力傳感器型號大全 4.8w次閱讀
- 壓力傳感器的工作原理，什么是壓力傳感器，壓力傳感器的接線方法 3.3w次閱讀
- MEMS壓力傳感器原理及應用詳解 2.6w次閱讀
- 怎么檢測壓力傳感器？ 3941次閱讀
- 醫療應用新突破 MEMS壓力傳感器創新設計 1946次閱讀
上傳資料賺積分下載排行
本周
- 1TC358743XBG評估板參考手冊
- 1.36 MB | 330次下載 | 免費
- 2開關電源基礎知識
- 5.73 MB | 11次下載 | 免費
- 3100W短波放大電路圖
- 0.05 MB | 4次下載 | 3 積分
- 4嵌入式linux-聊天程序設計
- 0.60 MB | 3次下載 | 免費
- 5DIY動手組裝LED電子顯示屏
- 0.98 MB | 3次下載 | 免費
- 6基于FPGA的C8051F單片機開發板設計
- 0.70 MB | 2次下載 | 免費
- 751單片機PM2.5檢測系統程序
- 0.83 MB | 2次下載 | 免費
- 8基于51單片機的RGB調色燈程序仿真
- 0.86 MB | 2次下載 | 免費
本月
- 1OrCAD10.5下載OrCAD10.5中文版軟件
- 0.00 MB | 234315次下載 | 免費
- 2555集成電路應用800例(新編版)
- 0.00 MB | 33566次下載 | 免費
- 3接口電路圖大全
- 未知 | 30323次下載 | 免費
- 4開關電源設計實例指南
- 未知 | 21549次下載 | 免費
- 5電氣工程師手冊免費下載(新編第二版pdf電子書)
- 0.00 MB | 15349次下載 | 免費
- 6數字電路基礎pdf(下載)
- 未知 | 13750次下載 | 免費
- 7電子制作實例集錦 下載
- 未知 | 8113次下載 | 免費
- 8《LED驅動電路設計》 溫德爾著
- 0.00 MB | 6656次下載 | 免費
總榜
- 1matlab軟件下載入口
- 未知 | 935054次下載 | 免費
- 2protel99se軟件下載(可英文版轉中文版)
- 78.1 MB | 537797次下載 | 免費
- 3MATLAB 7.1 下載 (含軟件介紹)
- 未知 | 420027次下載 | 免費
- 4OrCAD10.5下載OrCAD10.5中文版軟件
- 0.00 MB | 234315次下載 | 免費
- 5Altium DXP2002下載入口
- 未知 | 233046次下載 | 免費
- 6電路仿真軟件multisim 10.0免費下載
- 340992 | 191186次下載 | 免費
- 7十天學會AVR單片機與C語言視頻教程 下載
- 158M | 183279次下載 | 免費
- 8proe5.0野火版下載(中文版免費下載)
- 未知 | 138040次下載 | 免費
工商網監
評論