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電子發燒友網>可編程邏輯>Flex 產品增強的 ALE 技術可以進行電介質膜刻蝕?

Flex 產品增強的 ALE 技術可以進行電介質膜刻蝕?

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2023-06-21 10:03:30238

半導體之ICT技術先通孔的過程詳解

對于先通孔的過程,首先沉積通孔刻蝕停止層(ESL)的層間介質(ILD)、低k電介質、溝槽ESL、低k電介質的和覆蓋層(下圖(a))。
2023-08-14 10:22:56911

電介質的損耗

一、電介質的損耗 介質損耗是指絕緣材料在電場作用下,由于介質電導和介質極化的滯后效應,在其內部引起的能量損耗。介質損耗也叫介質損失,簡稱介損。表征某種絕緣材料的介質損耗,一般不用W或J等單位來表示
2023-09-24 16:08:312299

電介質電導與溫度的關系

一、電介質的電導 電介質的電導可分為離子電導和電子電導,離子電導以離子為載流體,電子電導以自由電子為載流體。 1、離子電導 實際工程上所用的電介質多少含有一些雜質離子,這些離子與電介質分子聯系非常
2023-09-26 16:47:53809

干法刻蝕與濕法刻蝕各有什么利弊?

在半導體制造中,刻蝕工序是必不可少的環節。而刻蝕可以分為干法刻蝕與濕法刻蝕,這兩種技術各有優勢,也各有一定的局限性,理解它們之間的差異是至關重要的。
2023-09-26 18:21:003308

應用在測量電介質的厚度、物位中的電容傳感芯片

電介質是能夠被電極化的絕緣體。電介質的帶電粒子是被原子、分子的內力或分子間的力緊密束縛著,因此這些粒子的電荷為束縛電荷。
2023-11-10 09:33:03282

信號如何在無限大的導電介質中傳播

信號如何在無限大的導電介質中傳播
2023-11-24 16:06:16168

為什么深硅刻蝕中C4F8能起到鈍化作用?

對DRIE刻蝕,是基于氟基氣體的高深寬比硅刻蝕技術。與RIE刻蝕原理相同,利用硅的各向異性,通過化學作用和物理作用進行刻蝕。不同之處在于,兩個射頻源:將等離子的產生和自偏壓的產生分離
2024-01-14 14:11:59512

刻蝕終點探測進行原位測量

使用SEMulator3D?工藝步驟進行刻蝕終點探測 作者:泛林集團 Semiverse Solutions 部門軟件應用工程師 Pradeep Nanja 介紹 半導體行業一直專注于使用先進的刻蝕
2024-01-19 16:02:42131

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