--- 產品參數 ---
- 品牌 日本speedfam
- 型號 28B-5P
- 最大加工 680
- 最小加工 10
- 最厚加工 50
- 最薄加工 0.1
- 功率 25
- 電機 3個
- 游星輪直徑 715
--- 產品詳情 ---
- 本機主要用于硅片、砷化鉀片、陶瓷片、石英晶體、玻璃及其它硬脆材料的雙面研磨。本機從設備的結構、精度、功能、可靠性、工藝性等方面進行優化設計,性能優良,完全能滿足用戶的使用要求。
一. 概述
1.1本機采用龍門式結構,外型美觀大方,提高了整機剛度。
1.2整機的運行采用單電機拖動,通過減速機后由四組不同速比的齒輪給上研磨盤、下研磨盤、齒圈、中心輪提供不同的速度,使四種速度達到最佳的配比,滿足工藝的要求,其中中心輪相對與其它三個轉速的速比可調(兩級),使游輪自轉可實現正轉、反轉,滿足了不同研磨(修盤)工藝的需求。
1.3本機為下研磨盤升降方式、下研磨盤的高低位置可在總行程范圍內隨意停留自鎖,以滿足改變游輪嚙合高低位置的需要;
1.4本機繼承其它研磨機壓力控制的成功經驗:采用四段壓力,即輕壓、中壓、重壓、修研(輕壓)的運行過程;
1.5本機采用PLC、四行文本顯示器,變頻調速,電機速度由外設電位器手動隨時調節;速度由預設的四段速度因運行時間而自動改變,四段速度的運行時間與四段壓力時間相對應。設備留有工件測厚裝置接口;
1.6接液盆、護圈的設計采用半露式結構,保證了設備工作時不會漏砂,并且便于用戶對設備進行清理;
1.7研磨速度的匹配,符合國際上通用的研磨機理,此速度匹配已被普遍認可。
三.主要技術參數
1. 研磨盤尺寸(mm): φ1800× φ780 ×50
2. 游輪參數: 英制:齒數Z=350 DP=12 α=20°
公制:齒數Z=182 m=3 α=20°
3. 游輪數量: 5片
4. 修正輪數量: 4片
5. 最小研磨厚度: 0.50mm/φ680,0.40mm/φ680,
0.35mm/φ75
6. 最大研磨厚度: 50mm
7. 研磨直徑及片數 φ680/5片
8. 最大研磨直徑: φ680 mm
9. 下研磨盤轉速: 0~90rpm
10. 主電機: 11Kw 220V 3460rpm
11. 三相電泵 AB-100 250W 100L/min
四.精度指標
1. 下研盤端面跳動0.08.
2. 上、下研磨盤平面度0.030.(只檢查下盤)。
3. 太陽輪徑向跳動:0.12.
4. 齒圈徑向跳動;0.20.
5. 上、下研磨盤回轉中心不重合度≤0.5mm.
四個修正輪精度狀況:
6. 厚度一致性:0.008
7. 上下面平面度:0.005
8. 上下面平行度:0.006
9. 整機噪音: ≤75dB(A)
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