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中圖儀器

深圳市中圖儀器股份有限公司是一家高新技術企業,致力于全尺寸鏈精密測量儀器及設備的研發、生產和銷售。

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国产半导体合作伙伴

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實驗室臺式掃描電鏡

型號: CEM3000系列
品牌: 中圖儀器(中圖儀器)

--- 產品參數 ---

  • 注釋 如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。

--- 產品詳情 ---

中圖儀器CEM3000實驗室臺式掃描電鏡用于對樣品進行微觀尺度形貌觀測和分析。臺式結構節省空間,可置于桌面或狹小環境(如手套箱、車廂)。

實驗室臺式掃描電鏡

CEM3000實驗室臺式掃描電鏡無需占據大量空間來容納整個電鏡系統,這使其甚至能夠出現在用戶日常工作的桌面上,在用戶手邊實時呈現所得結果。此外,該系列臺式電鏡也可以進入手套箱、車廂還是潛水器等狹小空間內大顯身手。即便在一些常規電鏡難以耐受的工作環境中,該系列臺式電鏡也能憑借抗振防磁技術,展現出色的性能。

 

產品功能

1.高分辨率,滿足用戶觀測需求;

2.快速抽放氣,縮短等待時間;

3.高易用性

可快速成像,一鍵成片;

4.多種成像參數

滿足專業用戶的調節需求;

5.高抗振防磁性能

強抗干擾能力;

6.可選配低真空模式,保證用戶能夠根據需要設定電鏡樣品倉內真空度,進而對不同類型的樣品進行觀測。

7.大樣品倉

SEM3000A在保證較小外形尺寸同時,具有比肩立式電鏡的大倉室,從而容納更大尺寸樣品;

8.多探測器

可實現四分窗同時掃描成像。

 

性能特色

1、緊湊外型

CEM3000實驗室臺式掃描電鏡整機經過深入優化,在結構方面達到了優尺寸利用率,確保其出色的性能不再受環境尺寸的制約,無論是日常的工作桌面、還是狹小空間,CEM3000系列臺式掃描電鏡總能陪伴用戶出現在有需要的地方。

2、自動調節

用戶可借助自動調節功能,無需過多人工調節,便可一鍵得到理想的拍攝圖片。

3、高分辨率

CEM3000系列電鏡具有出色的電子光學系統,優于4nm的空間分辨率,保證了高放大倍數下的清晰成像,能夠滿足納米尺度的形貌觀測需求。

4、高抗振防磁性能

該系列臺式電鏡采用特殊設計的隔振措施,能夠減小環境中振動對電鏡的干擾,并且全系列電鏡具有強抗電磁干擾性能,消除場地因素對電鏡的影響。

其中CEM3000B更是采用本公司設計的高性能復合抗振系統來消除外界振動對電鏡的影響,即使是在高放大倍數下成像,用戶也不用擔心環境振動對電鏡產生的干擾。

5、選配低真空系統

根據用戶需求,可選配低真空系統。該系統讓用戶可以任意設定電鏡工作時的倉內真空度(倉內真空度低可達100Pa),以滿足不同類型樣品的觀測需求。

6、操縱手柄

操作手柄上集成了多個方向位移控制,自動調整及自動對焦、自動消像散等功能,可快速完成觀測位置調整及自動成像。

7、豐富的定制功能

根據特定行業的需求,定制了自動化的顆粒度統計、孔隙率測量等選配功能。

可根據用戶需求提供全自動軟件定制服務。

8、高精度樣品臺

該系列臺式電鏡采用全新設計的樣品臺,各自動軸均保證了動作精度和高重復性。

9、高襯度成像系統

采集系統具有高信噪比,使用戶在快速掃描時也能獲取到充足的信號。即使針對微弱信號,CEM3000系列臺式電鏡搭載的處理算法亦可將信號從背底中進行高效剝離,確保成像質量。

 

機型選擇

CEM3000A(大樣品倉型):70mm×70mm樣品倉,兼容大尺寸或多樣品批量分析。

CEM3000B(抗振型):專為振動環境設計,抽氣更快(低真空僅40秒),成像更穩定。

實驗室臺式掃描電鏡

 

應用領域

該電鏡外型緊湊,空間適用性強,整機采用大量的抗干擾設計,避免使用環境造成的影響,拓寬了應用范圍。同時,該系列臺式電鏡具有非常豐富的自動調節功能,能夠對不同類型的樣品進行觀測,具有高空間分辨率。

用戶可在CEM3000系列臺式掃描電鏡上搭配不同的探頭,同時接收多種信號,對樣品進行分析。

實驗室臺式掃描電鏡

 

部分技術指標

型號

CEM3000A(大樣品倉型)

電子槍

燈絲

鎢燈絲

分辨率

優于4nm(SE),優于8nm(BSE)  @20kV

加速電壓

1 ~ 20kV

放大倍數

電子圖:40 ~ 200,000×(可選配大圖拼接)

探測器

二次電子

標配

背散射電子

標配(四象限高分辨探頭)

能譜儀

選配

自動化軟件

標配:自動合軸、自動聚焦、自動消像散、一鍵圖像增強

選配:顆粒度統計、孔隙率測量、纖維測量、三維粗糙度重建

真空系統

真空度

高真空:優于9×10-3Pa

低真空:5 ~ 100 Pa(選配)

抽真空時間

低真空模式 < 1.5min

高真空模式 < 3min

樣品臺

自動軸

X,Y,T

手動軸

R,Z

行程范圍

X: 50mm

Y: 50mm

R: 0°~360°(手動旋轉、電子束旋轉)

T: -22.5°~ +22.5°

Z: 45mm

 

最大樣品尺寸

70mm×70mm(水平)

45mm(高度)

倉內相機

導航相機

標配高分辨彩色相機

側視相機

標配高分辨紅外相機

操作系統

圖片尺寸

Windows10 (64bit)

640×480

1280×960

2560×1920

5120×3840

10240×7680

懇請注意:因市場發展和產品開發的需要,本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。

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