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芯茂(嘉興)半導體科技有限公司

芯茂(嘉興)半導體科技有限公司是一家專注于半導體裝備本土化制造的高科技公司。

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芯片制造高精度的激光調阻,電阻修復設備

型號: LMT-300HR

--- 產品參數 ---

  • 激光光源 DPSS Laser (Class 4)
  • 激光波長 1342 nm
  • 激光頻率 30KHz
  • 脈沖寬度 20ns
  • 脈沖能量 Max 10uJ/Pulse
  • 光斑尺寸 Φ2~6µm (可変)
  • 基板尺寸 4~12inch
  • 位移精度 ±0.02µm(Wafer stage)
  • 加工時間 ≤10 min

--- 產品詳情 ---

高精度的激光調阻,電阻修復設備(Laser Micro Trimming — LMT-300HR)

獨家光學設計,自主定位技術,實現高速且高精度的電阻修復。

●配合客戶需求,良好的軟件客制化服務。

●基于Toray外觀檢測機 (INSPECTRA) 的設計,設備運行穩定。

●主要部件 (激光光源、光學系統、工作臺等) 品質優異,供給穩定。

●及時高效的售后服務。

設備功能:

厚膜芯片電阻器通過絲網印刷形成各層。因為一次在氧化鋁基板上形成幾百個以上的電阻,印刷狀態稍有偏差即電阻值產生偏差。因此實施了調整電阻值的工序“激光修整”。

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    產品型號: LMT-300HR 激光光源:DPSS Laser (Class 4) 激光波長:1342 nm 激光頻率:30KHz 脈沖寬度:20ns 脈沖能量:Max 10uJ/Pulse
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