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電子發燒友網>今日頭條>關于氮化鎵的晶體學濕式化學蝕刻的研究

關于氮化鎵的晶體學濕式化學蝕刻的研究

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2023-06-15 15:28:08

什么是氮化功率芯片?

氮化(GaN)功率芯片,將多種電力電子器件整合到一個氮化芯片上,能有效提高產品充電速度、效率、可靠性和成本效益。在很多案例中,氮化功率芯片,能令先進的電源轉換拓撲結構,從學術概念和理論達到
2023-06-15 14:17:56

遠程等離子體選擇性蝕刻的新途徑

為了提供更優良的靜電完整性,三維(3D)設計(如全圍柵(GAA)場電子晶體管(FET ))預計將在互補金屬氧化物半導體技術中被采用。3D MOS架構為蝕刻應用帶來了一系列挑戰。雖然平面設備更多地依賴于各向異性蝕刻,但是3D設備在不同材料之間具有高選擇性,需要更多的各向異性蝕刻能力。
2023-06-14 11:03:531779

步入恒溫恒試驗房

步入恒溫恒試驗房的用途:適用于塑膠、電子、食品、服裝、車輛、金屬、化學、建材、航天等多種行業的溫濕變化產品可靠性檢測。是指能同時施加溫度、濕度應力的試驗箱,由制冷系統、加熱系統、控制系統、溫度
2023-06-09 10:30:45

載體晶圓對蝕刻速率、選擇性、形貌的影響

等離子體蝕刻氮化鎵器件制造的一個必要步驟,然而,載體材料的選擇可能會實質上改變蝕刻特性。在小型單個芯片上制造氮化鎵(GaN)設備,通常會導致晶圓的成本上升。在本研究中,英思特通過鋁基和硅基載流子來研究蝕刻過程中蝕刻速率、選擇性、形貌和表面鈍化的影響。
2023-05-30 15:19:54452

淺談蝕刻工藝開發的三個階段

納米片工藝流程中最關鍵的蝕刻步驟包括虛擬柵極蝕刻、各向異性柱蝕刻、各向同性間隔蝕刻和通道釋放步驟。通過硅和 SiGe 交替層的剖面蝕刻是各向異性的,并使用氟化化學。優化內部間隔蝕刻(壓痕)和通道釋放步驟,以極低的硅損失去除 SiGe。
2023-05-30 15:14:111071

氮化鎵在射頻領域的優勢盤點

氮化鎵是一種二元III/V族直接帶隙半導體晶體,也是一般照明LED和藍光播放器最常使用的材料。另外,氮化鎵還被用于射頻放大器和功率電子器件。氮化鎵是非常堅硬的材料;其原子的化學鍵是高度離子化的氮化化學鍵,該化學鍵產生的能隙達到3.4 電子伏特。
2023-05-26 10:10:41758

MXene范德華接觸在氮化鎵高電子遷移率晶體管中的應用

摘要:柵極控制能力是決定氮化鎵高電子遷移率晶體管性能的關鍵因素。然而在金屬-氮化鎵界面,金屬和半導體的直接接觸會導致界面缺陷和固定電荷,這會降低氮化鎵高電子遷移率晶體管柵控能力。在本項研究中,二維
2023-05-25 16:11:29599

濕式化學蝕刻法制備硅片微孔

微孔利用光和物質的相互作用來獲得獨特的性質,特別是,當用紫外光、可見光或近紅外光在其表面等離子體極化頻率附近照射時,金屬微孔結構表現出強烈的共振。然而,用于制造微孔的技術是耗時的,并且需要昂貴的設備和專業人員。因此,英思特開發了一種通過濕化學蝕刻硅襯底來制造微孔的方法。
2023-05-25 13:47:51846

如何在蝕刻工藝中實施控制?

蝕刻可能是濕制程階段最復雜的工藝,因為有很多因素會影響蝕刻速率。如果不保持這些因素的穩定,蝕刻率就會變化,因而影響產品質量。如果希望利用一種自動化方法來維護蝕刻化學,以下是你需要理解的基本概念。
2023-05-19 10:27:31575

硅晶片的酸基蝕刻:傳質和動力學效應

拋光硅晶片是通過各種機械和化學工藝制備的。首先,硅單晶錠被切成圓盤(晶片),然后是一個稱為拍打的扁平過程,包括使用磨料清洗晶片。通過蝕刻消除了以往成形過程中引起的機械損傷,蝕刻之后是各種單元操作,如拋光和清洗之前,它已經準備好為設備制造。
2023-05-16 10:03:00584

第一個木制晶體管問世,主頻1Hz!

前不久,來自瑞典的研究人員就設計并測試了第一個木制晶體管。團隊發表了一篇題為“木材電化學晶體管中的電流調制”的論文,討論了他們最近開發的木材電化學晶體管 (WECT) 的創造、能力和潛力。
2023-05-04 10:16:23194

氮化鎵(GaN)的晶體結構與性質

到目前為止我們已知的GaN有三種晶體結構,它們分別為纖鋅礦(Wurtzite)、閃鋅礦(Zincblende)和巖鹽礦(Rocksalt)。通常的情況下纖鋅礦是最穩定的結構。目前學術上在薄膜的外延
2023-04-29 16:41:0012093

《炬豐科技-半導體工藝》單晶的濕法蝕刻和紅外吸收

書籍:《炬豐科技-半導體工藝》 文章:單晶的濕法蝕刻和紅外吸收 編號:JFKJ-21-206 作者:炬豐科技 摘要 采用濕法腐蝕、x射線衍射和紅外吸收等方法研究了物理氣相色譜法生長AlN單晶的缺陷
2023-04-23 11:15:00118

飛秒激光輔助制造石英晶體MEMS諧振器

提出了一種利用飛秒激光誘導化學蝕刻(FLICE)制造壓電致動的石英晶體MEMS諧振器的方法。
2023-04-20 09:10:46878

氮化的好處#硬聲創作季 #pcb設計 #電路設計 #電子制作 #產品方案 #機器人

氮化
深圳愛美雅電子有限公司發布于 2023-04-17 14:41:27

利用有機電化學晶體管放大微弱的生物化學信號

人體內的生物化學信號通常非常微弱,很難直接進行檢測和分析。據麥姆斯咨詢報道,美國西北大學(Northwestern University)的研究人員基于有機電化學晶體管開發了一種新方法
2023-04-15 09:38:241267

NPT2020 硅基氮化晶體

NPT2020PT2020 是一款 48 V 硅基氮化晶體管,工作頻率為 DC 至 3.5 GHz,功率為 50 W,增益為 17 dB。它采用陶瓷封裝,面向軍事和大批量商業市場。 
2023-04-14 15:39:35

光子晶體用硅中圓柱形納米孔的深反應離子蝕刻

反應離子蝕刻 (RIE)是一種干法蝕刻工藝,與半導體工業中使用的互補金屬氧化物半導體(CMOS)方法兼容。
2023-04-14 14:26:161253

干法蝕刻與濕法蝕刻-差異和應用

干法蝕刻與濕法蝕刻之間的爭論是微電子制造商在項目開始時必須解決的首要問題之一。必須考慮許多因素來決定應在晶圓上使用哪種類型的蝕刻劑來制作電子芯片,是液體(濕法蝕刻)還是氣體(干法蝕刻
2023-04-12 14:54:331004

65W氮化快充方案 #從入門到精通,一起講透元器件! #硬聲創作季

氮化快充
深圳愛美雅電子有限公司發布于 2023-04-11 16:36:50

氮化鋁單晶的濕法化學蝕刻

清洗過程在半導體制造過程中,在技術上和經濟上都起著重要的作用。超薄晶片表面必須實現無顆粒、無金屬雜質、無有機、無水分、無天然氧化物、無表面微粗糙度、無充電、無氫。硅片表面的主要容器可分為顆粒、金屬雜質和有機物三類。
2023-03-31 10:56:19314

PCB加工的蝕刻工藝

印刷線路板從光板到顯出線路圖形的過程是一個比較復雜的物理和化學反應的過程,本文就對其最后的一步--蝕刻進行解析。目前,印刷電路板(PCB)加工的典型工藝采用"圖形電鍍法"。即先在
2023-03-29 10:04:07886

SW1106集成氮化直驅的高頻準諧振模式反激控制器

,可直接用于驅動氮化功率管;芯片工作于帶谷底鎖定功能的谷底開啟模式,同時集成頻率抖動功能以優化 EMI 性能;當負載降低時,芯片從 PFM 模式切換至 BURST 模式工作以優化輕載效率,空載待機功耗
2023-03-28 10:31:57

集成氮化直驅的高頻準諧振模式反激控制器

電壓,可直接用于驅動氮化功率管;芯片工作于帶谷底鎖定功能的谷底開啟模式,同時集成頻率抖動功能以優化 EMI 性能;當負載降低時,芯片從 PFM 模式切換至 BURST 模式工作以優化輕載效率,空載待機
2023-03-28 10:24:46

調溫調箱的特點介紹

調溫調箱全名“恒溫恒試驗箱”是航空、汽車、家電、科研等領域必備的測試設備,用于測試和確定電工、電子及其他產品及材料進行高溫、低溫、濕熱度或恒定試驗的溫度環境變化后的參數及性能,它主要用于根據試驗
2023-03-28 09:02:36

使用 ClF 3 H 2遠程等離子體在氧化硅上選擇性蝕刻氮化

在濕蝕刻的情況下,隨著SiNx/SiOy層的厚度減小,剩余的SiOy層由于表面張力而坍塌,蝕刻溶液對孔的滲透變得更具挑戰性。
2023-03-27 10:17:49402

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