1、掃描電鏡樣品的基本要求

首先，導電性能好，樣品在電子束反復掃描下表面電位不會升啊，避免電荷效應；

其次，熱穩定性能好，電子束溫度較高，導熱性差的樣品在觀察時會漂移，圖像不穩定有些熱敏感材料會損傷，觀察部位起泡、龜裂、出現空洞；

最后，二次電子和背散射電子產率高；

簡單的說

1）樣品的導電性

2）樣品的尺寸

3）樣品的清潔干燥

4）粉末樣品的固定

5）組織、夾雜物試樣的制備

因DBSD的樣品分析時要傾斜70°等特性，EBSD的樣品制備要求更高一些，表面平整、清潔、無殘余應力；需要絕對的取向數據時，樣品外觀坐標系要準確，尺寸約為1-3CM或稍小一些。

2、樣品的制備

1）試樣的鑲嵌

什么時候鑲嵌：

a)在看邊緣信息時

b)試樣太小或者形狀很不規則時

鑲嵌類型分以下兩種：

熱鑲嵌法：首先要保證發生熱固話或熱塑性的溫度不會導致被鑲嵌試樣組織發生變化。通常推薦熱鑲嵌方式。

冷鑲嵌法：環氧樹脂或丙烯酸樹脂

2）試樣的清潔

樣品受污染或SEM 受到污染會導致圖像質量變差，所以清潔樣品很重要，可用吸耳球吹或者將樣品放入丙酮或者酒精中，超聲清潔至少10秒。

3）試樣的磨拋