實驗 PSD 光電位置傳感器實驗
實驗原理：
PSD（Position sensitive detector）是一種新型的橫向光電效應器件，當入
射光點照在光敏面上時由于光生載流子的流動產生光生電流I，經運算后即可知光點的位置。

（圖21）PSD 器件工作原理

實驗所需部件：
PSD 傳感器、固體激光器、位移裝置、PSD光電位置傳感器實驗模塊、電
壓表、示波器
實驗步驟：
1、觀察PSD器件及安裝位置，激光器置于PSD 組件中，調節反射體（被
測物）與激光管的位置大約為70~80mm ,模塊輸出V0端接電壓表及示波器，連
接主機與實驗模塊的電源線及傳感器探頭。
2、開啟主機電源，連接激光器電源并調節激光光點，激光束射到被測物
體后其漫反射光經透鏡聚焦入射PSD 光敏面（激光器的光點位置可以旋轉調
整，以提高PSD器件的光電流輸出），調節位移裝置，使光斑位于PSD光敏面
中點（通過觀察窗口確認），調節模塊“增益”旋鈕，用示波器觀察，輸出波
形不應有自激，此時模塊電路輸出為零。
3、分別向前和向后位移被測體，每位移0.1mm 記錄一電壓值，并記入下表：

作出V-X 曲線，計算靈敏度，分析工作線性。
4、用遮擋物蓋住觀察窗口，使PSD 器件不受背景光影響，重新進行位移
測試，看結果是否有變化。
注意事項：
本實驗儀中的固體激光器只能作為實驗光源之用，嚴禁實驗者用激光光束
照射人的眼睛，否則將會造成視力不可恢復的傷害。
需注意的是由于背景光的影響及變化，會使多次實驗的結果有所不同。