0 引言

　　PSD作為一種精密的光電位置傳感器，具有靈敏度高、響應時間短、位置分辨率高、光譜響應范圍大等特點，因此被廣泛應用于現(xiàn)代光電檢測技術中，尤其是高精度、高速度的數(shù)據(jù)采集技術中。如何在極短的響應時間內(nèi)實現(xiàn)多數(shù)據(jù)的采集，成了采集PSD輸出數(shù)據(jù)的關鍵。本文基于單片機技術，設計搭建了一套高速的PSD輸出數(shù)據(jù)采集及控制電路，通過在實驗室條件下對PSD輸出數(shù)據(jù)進行采集，從而為后續(xù)的PSD定位精度以及抗干擾研究奠定理論基礎。

　　1 PSD 的工作原理

　　光電位置敏感器件PSD（Position Sensitive Detector）是一種基于橫向光電效應、連續(xù)分布的半導體位置探測器件，能快速、準確給出入射光點在光敏面上的位置，即PSD輸出的信號與光點在光敏面上的位置有關。如圖1所示，表面P+層為感光面，兩邊各有一信號輸出電極。中間為I層，底層的公共電極用于加反向偏壓。當光線入射到光敏面上時，由于與結面平行的橫向電場作用，光生載流子形成向兩端電極流動的電流X1 和X2，且總電流X0 = X1 + X2.

　　當入射光斑與兩電極的間距發(fā)生變化時，兩電極的輸出電流也隨之變化，從而實現(xiàn)了位置測量功能。

　　如圖2 所示，如果PSD 的面電阻是均勻的，且阻值R1 和R2 遠大于負載電阻RL，則R1 和R2 的值僅取決于光點的位置，即：

　　式中：L 為PSD 中點到信號電極的距離；x 為入射光點到PSD中點的距離。

　　將X0 = X1 + X2 代入式（1），即可得到光點坐標：

　　顯然上式與入射光強X0 無關，這就是一維PSD 的定位原理。二維PSD的基本原理與一維PSD相同，只是計算公式不同。

　　2 PSD 的選取

　　本文選取的是瑞典SiTek公司出品的SPC01光電位置傳感器。它是一款二維兩面分流型PSD，采用PSD使用厚膜技術制造，將PSD 傳感器與處理電路集合為一體，處理電路只有前置放大、加法器和減法器，其處理電路框圖如圖3所示。

　　將輸出電壓Diff X、Diff Y 和Sum X、Sum Y 與二維位置的關系式為：

　　因此，采集對象為Diff X、DiffY、Sum X、Sum Y 四個輸出量，通過對四輸出量的采集，便可運用原理運算來實現(xiàn)PSD在二維坐標下的位置數(shù)據(jù)。