MEMS的應用

　MEMS 技術的應用范圍廣泛[24～28 ] ,MEMS 技術是一種典型的多學科交叉的前沿研究領域, 幾乎涉及到自然科學及工程技術的所有領域, 如電子技術、機械技術、物理學、化學、生物醫學、材料科學和能源科學等. 與不同的技術結合, 往往便會產生一種新型的MEMS 器件.
3. 1 　微型傳感器
　　微型傳感器是MEMS 最重要的組成部分. 1962年,第一個硅微型壓力傳感器的問世開創了MEMS 技術的先河, 并一直是推動MEMS 技術不斷進步的動力, 同時MEMS 技術的應用又使傳感器的性能提高了幾個數量級. 現在已經形成產品和正在研究中的微型傳感器涉及領域有壓力、力、力矩、加速度、速度、位置、流量、電量、磁場、溫度、氣體成分、濕度、pH 值、離子濃度和生物濃度、微陀螺、觸覺傳感等. 現在,微型傳感器正朝著集成化和智能化的方向發展.
3. 2 　微型執行器
　　微型執行器主要有微電機、微開關、微諧振器、微閥門和微泵等. 把微型執行器分布成陣列可以收到意想不到的效果, 如可用于物體的搬送、定位. 微型執行器的驅動方式主要有靜電驅動、壓電驅動、電磁驅動、形狀記憶合金驅動、熱雙金屬驅動、熱氣驅動等. 微型電機是一種典型的微型執行器, 可分為旋轉式和直線式兩類.
　　在MEMS2000 年會上, 瑞士的Dellmann L 等人報道了一種用于手表的微型機械加工壓電彈力電機(Elastic Force Motor) , 力矩高達1μN·nm , 而功耗僅10μW. EFM 的工作原理是定子產生垂直振動, 然后由轉子轉換成轉動. 定子由ZnO 壓電層在諧振頻率下產生垂直運動, 工作頻率為20 kHz , 典型激勵電壓為4 V , 轉子彈性束將垂直運動轉換成轉動. 與過去的定子相比, 這種新型設計使模片振動的第一種模式得到應用, 從而提高了振動的機械幅度.
3. 3 　微型光機電器件和系統
　　隨著信息技術、光通信技術的發展, 寬帶的波分復用光纖網絡將成為信息時代的主流, 光通信中光器件的微小型化和大批量生產成為迫切的需要. MEMS技術與光器件的結合恰好能滿足這一需求. 由MEMS與光器件融合為一體的微型光機電系統(MOEMS) 將成為該領域中的一個重要研究方向. 2000 年, 美國加利福尼亞大學電氣工程學院的Guo2Dung J Su 等人得到美國DARPA 支持, 使用表面微機械技術研制了高性能單晶硅反射鏡二維(2D) 光掃描器, 反射鏡在厚的(大于10μm) 絕緣硅(SOI) 上形成, 而且連接到表面微機械驅動器.
3. 4 　微型機器人
　　隨著電子器件的不斷縮小, 組裝時要求的精密度也在不斷增加. 現在, 科學家正在研制微型機器人,能在桌面大小的地方組裝如硬盤驅動器之類的精密小巧的產品. 日本通產省的10 年計劃就是一例. 軍事部門對這種微型機器人表現了濃厚的興趣. 日本已制作出利用太陽能電池的微小機器人, 它只有錢幣大小.太陽能電池產生的電力驅動馬達使機器人向著光亮的地方前進.
3. 5 　微型飛行器
　　微型飛行器一般是指長、寬、高均小于15 cm , 重量不超過120 g , 在成本可接受的情況下, 研制的一種有軍事用途的飛行器. 這個飛行器的設計目標是16km 的巡航范圍, 并能以30～60 km/ h 的速度連續飛行20～30 min. 美國陸軍把這種微型飛行器裝備到陸軍, 它被廣泛地用于戰場偵察、通信中繼和反恐怖活動. MIT(麻省理工學院) 新設計的微型飛行器, 預計其飛行速度為30～50 km/ h , 可在空中停留1 h , 具有偵察及導航能力.
3. 6 　微型動力系統
　　微型動力系統以電、熱、動能和機械能的輸出為目的, 以毫米到厘米級尺寸產生1 W 到10 W 級的功率. MIT 從1996 年開始了微型渦輪發動機的研究. 它們研制的渦輪發動機利用MEMS 加工技術制作, 主要包括空氣壓縮機、渦輪機、燃燒室、燃料控制系統(包括泵、閥、傳感器等) , 以及電動機/ 發電機. 該校已在硅片上制作出渦輪機模型, 其目標是1 cm 直徑的發動機產生10～20 W 的電力或0. 05～0. 1 N 的推力,最終達到100 W. MIT 正在研究一種微型雙組火箭發動機, 它由5～6 片硅片疊在一起組成. 硅片上制作有燃燒室、噴嘴、微泵、微閥及冷卻管道等. 整個發動機約
長15 mm、寬12 mm、厚25 mm. 使用液態氧和乙醇燃料, 預計能產生15 N 的推力, 推力重量比是目前大型火箭的10～100 倍. 美國TRW 公司、航空航天公司和加州理工學院(CIT) 組成的研究小組提出了一個“數字推進概念”方案. 在這個方案中, 將有104～106個微推進器被集成到一塊直徑為10 cm 的硅片上, 并已研制出了3 mm ×5 mm 的微推進器陣列.