石英諧振器的數(shù)學描述
在壓電材料中,電流和電壓與彈性位移和應力的耦合
{T} = [c] {S} - [e] {E}
{D} = [e] {S} + [∈] {E}
式中:
{T} = 應力張量, [c] =彈性剛度矩陣,{S} =應變張量, [e] =壓電矩陣
{E} = 電場矢量, {D} =電位移矢量, [∈] = 介電矩陣
對于線性壓電材料
式中:
石英的電彈性矩陣
除了各主斜線完全相易,其它各線連接
數(shù)值方程。
○表示●的負值
◎表示數(shù)值方程的兩倍
×表示1/2(C11-C12)
獨立的非零常數(shù)的數(shù)量取決于晶體的對
稱性。對于石英(三角晶系,32 中晶類),
有10 個獨立的線性常數(shù):6 個彈性常數(shù),2 個壓電常數(shù)和2 個介電常數(shù)。這些“常數(shù)”均與
溫度、應力、坐標系有關。
為了描述諧振器的性能,必須在晶片表面相當?shù)碾姾?a target="_blank">機械邊界條件下連續(xù)求解牛頓運動
定律和麥克斯韋微分方程*
這些方程很“凌亂”,對實際上可以實現(xiàn)的三維諧振器,決不能以閉合形式求解。幾乎
所有的理論文章均采用近似值。
某些最重要的諧振器現(xiàn)象(如加速度靈敏度)是由于非線性效應引起的。石英具有許多
高階常數(shù),例如14 個三階彈性常數(shù)和23 個四階彈性常數(shù),以及16 個三階壓電系數(shù);非線
性方程很“凌亂”。
*磁場效應一般可以忽略不計;石英是非磁性的,但磁場能夠影響安裝結構和電極。
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