繼5月21日首臺***移入后,華力二期12英寸先進生產線(華虹六廠)再次迎來重大進展。
10月18日,華力二期12英寸先進生產線項目在上海浦東新區康橋工業區建成投片,首批12英寸硅片也正式進入工藝機臺,開始28納米芯片產品制造。這比原先預計于2018年12月底首批試流片的工期時間提前了2個月。
資料顯示,華力12英寸先進生產線總投資387億元人民幣,項目初期將形成1萬片的生產能力,未來將逐步爬坡到4萬片月產能12英寸集成電路芯片,工藝從28納米起步,最終具備14納米三維工藝的高性能芯片生產能力。
根據規劃,該項目計劃于2022年底達到產能目標,項目主要從事邏輯芯片生產,重點服務國內設計企業先進芯片的制造。芯片產品將覆蓋移動通信、物聯網、智能家居、云計算、CPU以及人工智能等各領域應用,進一步滿足國內市場對中高端芯片產品的需求。
據悉,華力二期生產線項目不僅是“十三五”期間上海市重大產業項目之一,還被列入了國家《“十三五”集成電路產業重大生產力布局規劃》。
此外,該項目還創造了國內晶圓制造項目多項紀錄,根據華虹集團資料顯示,該線是目前國內工藝最先進的大規模生產線,是目前國內單體凈化廠房面積最大的代工生產線,是國內同期在建的12英寸生產線中建設速度最快的項目,同時也是國家“910”工程規劃布局中最早投產的重點生產線。
目前,世界集成電路生產水平最高已達到7納米,主流生產線的技術水平為28—14納米。
而縱觀國內的晶圓代工市場,僅有中芯國際擁有28納米制程產品投片,但根據2018年第1季的財報數字顯示,中芯國際28納米占其營收不過3.2%。如今,華力二期生產線項目正式投片,對國內集成電路工藝技術的發展和產業規模的擴大具有重要意義。
該項目建成后,華虹集團的集成電路制造能力將覆蓋0.5微米-14納米各工藝技術平臺,制造規模進入全球前五位,工藝技術進入全球第一梯隊。華虹集團董事長張素心在投產大會上表示,公司目前28納米工藝產品良率達到93-98%,2020年華虹將具備14納米FinFET產品生產能力,基本上滿足國內中高端芯片需求。
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